[发明专利]一种硅片辨别方法

权利要求书

1.一种硅片辨别方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S01：利用一硅片盒，所述硅片盒的每个槽位位置设置图像处理单元，所述图像处理单元面向待辨别硅片背面设于每个槽位位置上，对硅片盒内每个槽位位置上待辨别硅片的ID信息进行实时扫描，当完成硅片取放后，对硅片盒内每个槽位位置上待辨别硅片的ID信息进行扫描，得到硅片盒内所有待辨别硅片的ID信息；

步骤S02：将所述待辨别硅片的ID信息传递给制造执行系统；

步骤S03：通过所述制造执行系统对所述待辨别硅片的ID信息进行实时统计，并与数据库内存储的标准硅片的ID信息进行比对，确认所述待辨别硅片的种类是正常厚度的单一硅片还是堆叠硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片辨别方法，其特征在于，所述ID信息位于所述待辨别硅片背面。

3.根据权利要求1所述的硅片辨别方法，其特征在于，所述图像处理单元为CMOS图像传感器。

4.根据权利要求1所述的硅片辨别方法，其特征在于，通过在所述硅片盒上设置信息处理及存储单元，将所述待辨别硅片的ID信息实时传递给制造执行系统。

5.根据权利要求4所述的硅片辨别方法，其特征在于，通过所述信息处理及存储单元，对所述待辨别硅片的ID信息进行处理，并通过无线网络传递给所述制造执行系统。

6.根据权利要求5所述的硅片辨别方法，其特征在于，所述信息处理及存储单元先通过无线网络，将所述待辨别硅片的ID信息传递给物料控制系统，再由所述物料控制系统将所述待辨别硅片的ID信息传递给所述制造执行系统。

7.根据权利要求1所述的硅片辨别方法，其特征在于，还包括：

步骤S04：通过所述制造执行系统，将确认种类后的所述待辨别硅片的ID信息实时传递给需要处理硅片盒内所述待辨别硅片的设备，并通过所述设备自动识别及处理所述待辨别硅片。