[发明专利]一种基板交接装置及基板交接方法

说明书

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种基板交接装置及基板交接方法。该基板交接装置包括运送台、工作台及移动气浮台，运送台用于在水平面内运送基板；工作台设置在运送台的下游，用于接收由运送台运送来的基板，基板的运送方向垂直于工作台上气浮导轨的延伸方向；移动气浮台具有工作位置和非工作位置，工作位置位于运送台与工作台之间，非工作位置位于运送台与工作台的上方或侧方，移动气浮台被配置为在工作位置和非工作位置之间移动，且在工作位置时能够支撑运送台与工作台之间的基板。本发明提供的基板交接装置及交接方法能够实现多块半板的同时交接，节约交接时间，提高兼容性和基板交接效率，实现了基板交接前后移动气浮台的避让，保障生产安全性。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种基板交接装置及基板交接方法。

背景技术

OLED显示屏是利用有机电自发光二极管制成的显示屏。由于同时具备自发光有机电激发光二极管，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

在OLED器件的制备工艺中，存在真空蒸镀环节。由于目前真空蒸镀机尺寸的限制，蒸镀的基板尺寸不能过大，因此需要将基板由整板改进为半板。半板(half-plate)是指在原来整板的长边尺寸方向将整板一分为二。

现有技术中公开了一种基板交接装置，其工作台结构如图1所示，包括气浮导轨1’、吊框2’、吊框支架3’、承板台4’，该装置中采用升降气浮台，从承板台的扫描方向上板(即沿图1中的Y向)，该方案只适用于整板的交接。如采用该方案运送两块半板，则会造成吸附组件的运动行程过长，交接过程不稳定且要求对吊框2’进行改造，提高了成本，而运送一块半板则会造成产率的成倍下降。

因此，为了在保障交接稳定性与产率的情况下实现半板的交接，亟需提供一种新的基板交接装置及基板交接方法。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种基板交接装置，该基板交接装置能够在保障交接稳定性与产率的情况下实现半板的交接。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板交接装置，包括：

运送台，用于在水平面内运送基板；

工作台，设置在所述运送台的下游，用于接收由所述运送台运送来的所述基板，所述基板的运送方向垂直于所述工作台上气浮导轨的延伸方向；

移动气浮台，所述移动气浮台具有工作位置和非工作位置，所述工作位置位于所述运送台与所述工作台之间，所述非工作位置位于所述运送台与所述工作台的上方或侧方，所述移动气浮台被配置为在所述工作位置和所述非工作位置之间移动，且在所述工作位置时能够支撑所述运送台与所述工作台之间的所述基板。

作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述运送台包括：

第一底座；

水平向传送组件，可水平移动地设置于所述第一底座上；

若干吸附组件，所述吸附组件设置于所述水平向传送组件上，用于吸附所述基板；

支撑气浮台，固设于所述第一底座上，用于悬浮支撑所述基板。

作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述工作台包括：

第二底座；

若干所述气浮导轨，固设于所述第二底座上；

支撑移动组件，可移动地设置在所述气浮导轨上；

若干承板台，设于所述支撑移动组件上。