[发明专利]一种基板交接装置及基板交接方法

权利要求书

1.一种基板交接装置，其特征在于，包括：

运送台(1)，用于在水平面内运送基板；

工作台(2)，设置在所述运送台(1)的下游，用于接收由所述运送台(1)运送来的所述基板，所述基板的运送方向垂直于所述工作台(2)上气浮导轨(22)的延伸方向；

移动气浮台(3)，所述移动气浮台(3)具有工作位置(4)和非工作位置(5)，所述工作位置(4)位于所述运送台(1)与所述工作台(2)之间，所述非工作位置(5)位于所述运送台(1)与所述工作台(2)的上方或侧方，所述移动气浮台(3)被配置为在所述工作位置(4)和所述非工作位置(5)之间移动，且在所述工作位置(4)时能够支撑所述运送台(1)与所述工作台(2)之间的所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板交接装置，其特征在于，所述运送台(1)包括：

第一底座(11)；

水平向传送组件(12)，可水平移动地设置于所述第一底座(11)上；

若干吸附组件(13)，所述吸附组件(13)设置于所述水平向传送组件(12)上，用于吸附所述基板；

支撑气浮台(14)，固设于所述第一底座(11)上，用于悬浮支撑所述基板。

3.根据权利要求2所述的基板交接装置，其特征在于，所述工作台(2)包括：

第二底座(21)；

若干所述气浮导轨(22)，固设于所述第二底座(21)上；

支撑移动组件(23)，可移动地设置在所述气浮导轨(22)上；

若干承板台(24)，设于所述支撑移动组件(23)上。

4.根据权利要求3所述的基板交接装置，其特征在于，若干所述气浮导轨(22)间隔铺设在所述第二底座(21)上，两侧的所述气浮导轨(22)上分别滑动设置有y向滑块(25)，所述支撑移动组件(23)固设于所述y向滑块(25)上。

5.根据权利要求3所述的基板交接装置，其特征在于，所述移动气浮台(3)包括移动底座(31)和固定于所述移动底座(31)上的气浮块(32)。

6.根据权利要求5所述的基板交接装置，其特征在于，所述支撑气浮台(14)、气浮块(32)、承板台(24)和支撑移动组件(23)上均设置有若干条平行于所述基板传送方向的凹槽，以容纳所述吸附组件(13)。

7.根据权利要求6所述的基板交接装置，其特征在于，每个所述吸附组件(13)均包括两个吸盘组，每个所述吸盘组均包括若干吸盘，所述吸盘用于吸附所述基板。

8.根据权利要求3-7任一项所述的基板交接装置，其特征在于，所述工作台(2)上设置有位置调整组件，用于对所述基板进行位置调整。

9.根据权利要求8所述的基板交接装置，其特征在于，所述调整组件包括：

旋转电机(6)，所述旋转电机(6)设置在所述承板台(24)的边角处，能够带动所述基板顺时针或逆时针旋转；

直线电机(7)，所述直线电机(7)设置在每两个相邻的所述承板台(24)之间，并位于远离设置有所述旋转电机(6)的一端，所述直线电机(7)能够驱动所述基板逆时针或顺时针旋转。

10.根据权利要求8所述的基板交接装置，其特征在于，所述调整组件包括旋转电机(6)，所述旋转电机(6)设置在所述承板台(24)的中心处，能够带动所述基板顺时针和逆时针旋转。

11.根据权利要求1所述的基板交接装置，其特征在于，所述移动气浮台(3)水平或垂直移动到所述工作位置(4)。