[发明专利]一种离子刻蚀机反应腔清洗方法有效
| 申请号： | 201811588620.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111360004B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 何际福 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 刻蚀 反应 清洗 方法 | ||
1.一种离子刻蚀机反应腔清洗方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)向反应腔通入氩气和氧气，保持离子刻蚀机反应腔真空度300-400帕，进行第一次射频辉光，射频的频率为：阴极：60-120KHZ、阳极：26-28MHZ；
(2)继续向反应腔通入氩气和氧气，调节并保持反应室内压强为200-400帕，进行第二次射频辉光，射频的频率为阴极：13.56MHZ、阳极：2-3GHZ，然后终止作业，清洗完毕，
其中，所述第一次射频辉光时反应腔内温度为50-75℃，所述第二次射频辉光时反应腔内温度为50-75℃。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一次射频辉光时射频的频率为：阴极：60-120KHZ、阳极：27.12MHZ；所述第二次射频辉光时射频的频率为：射频的频率为阴极：13.56MHZ、阳极：2.45GHZ。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一次射频辉光时的氧气的流量为50-70sccm，氩气的流量为400-500sccm。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第二次射频辉光时的氧气的流量为40-60sccm，氩气的流量为300-350sccm。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一次射频辉光的时间为280-320秒，所述第二次射频辉光的时间为580-620秒。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一次射频辉光的时间为300秒。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二次射频辉光的时间为600秒。
8.根据权利要求1-7任一所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中先调整反应腔内的真空度为450帕时，然后再向反应腔通入氩气和氧气；所述步骤(2)先调节反应腔的真空度为500帕，然后再继续向反应腔通入氩气和氧气。
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