[发明专利]提高砷化镓衬底减薄后表面洁净度的磨料及加工方法

权利要求书

1.一种提高砷化镓衬底减薄后表面洁净度的磨料，其特征在于，包括如下步骤：

a)将二乙醇酰胺硬脂酸甘油单酯、二月桂基二甲基氯化铵、烷氧基聚氧乙烯基硫酸酯、1-羧甲基钠-1-β-羟乙基-2-烷基-咪唑啉氢氧化钠按1.5-2:2-3:2-3:1的比例混合形成调节剂；

b)将纯水加热至40-60℃，保温5-15min；

c)将调节剂加入到纯水中，并搅拌均匀，搅拌时间为30-60min，搅拌完成后保温10-30min；

d)将氧化铝微粉加入到纯水中，并搅拌均匀，搅拌时间为30-60min；

e)将金刚砂微粉加入到纯水中，并搅拌均匀，搅拌时间为30-60min，搅拌后制成磨料，磨料中各组分体积百分含量为：纯水50-69vol.%、调节剂0.5-3.0vol.%、金刚砂微粉20-30%vol.%、氧化铝微粉10-20%vol.%。

2.根据权利要求1所述的提高砷化镓衬底减薄后表面洁净度的磨料，其特征在于：步骤c)中搅拌时间为40-60min，保温20-30min。

3.根据权利要求1所述的提高砷化镓衬底减薄后表面洁净度的磨料，其特征在于：步骤d)中氧化铝微粉的颗粒直径为3-15μm。

4.根据权利要求1所述的提高砷化镓衬底减薄后表面洁净度的磨料，其特征在于：步骤e)中金刚砂微粉的颗粒直径为5-20μm。

5.一种使用权利要求1中的磨料对砷化镓衬底减薄的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

a)将需要减薄的砷化镓衬底放置到研磨机中，研磨机中按流量3-20ml/min的速度向研磨盘表面喷射由纯水、调节剂、氧化铝微粉及金刚砂微粉构成的磨料，研磨机研磨压力为1-10Kg，研磨轮和研磨盘的转速为15-25转/分；

b)减薄完成后将砷化镓衬底用纯水冲洗干净并吹干；

c)将砷化镓衬底放置于乙醇溶液中清洗3-10min；

d)使用白膜粘附于砷化镓衬底表面，在200倍显微镜下检验视野内白膜表面颗粒数量。

6.根据权利要求5中的砷化镓衬底减薄的加工方法，其特征在于：步骤a)中磨料流量为7-9ml/min，磨机研磨压力为5-7Kg，研磨轮的转速为17-20转/分。

7.根据权利要求5中的砷化镓衬底减薄的加工方法，其特征在于：步骤c)中利用乙醇容易清洗时间为5-7min。