[发明专利]蒸镀设备

说明书

本发明是关于一种蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域。主要采用的技术方案为：蒸镀设备，其包括：负载螺线圈、变频供电装置以及温控装置；所述主体中设置有蒸镀坩埚，用于容纳金属源；所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。本发明提供的蒸镀设备，其在加热工作时能够避免热量的损失，避免能源的浪费，且直接对蒸镀坩埚中的全部金属源加热，有效解决了电阻加热产生的温度梯度问题，使金属源的受热更均匀，提高了蒸镀的效果。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。

背景技术

铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等显著特点，成为太阳能电池研发的重点。

铜铟镓硒太阳能电池在生产的过程中，需要在基板上蒸镀铜铟镓硒层作为吸光层，即使用蒸镀设备将铜铟镓硒材料通过蒸镀的方式镀在基板上。具体的是通过电阻对设备中的蒸镀坩埚加热，使蒸镀坩埚中的铜铟镓硒材料蒸发进行镀制。

但是，在使用电阻对蒸镀坩埚加热时，电阻是多个方向散热的，不仅对蒸镀坩埚加热，同时还对蒸镀坩埚周围的环境加热，即使用电阻对蒸镀坩埚加热的方式热损失较大，浪费能源。且由于热传导的方向性，导致电阻对蒸镀坩埚加热时，使蒸镀坩埚从外到内产生温度梯度，热量利用率低。

发明内容

有鉴于此，本发明所要解决的技术问题是提供一种蒸镀设备，使其能够解决蒸镀过程中的热损失过大的技术问题，以及解决蒸镀坩埚加热金属源时产生的温度梯度问题。

依据发明提供了一种蒸镀设备，其包括：

蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；

负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；

变频供电装置，所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；

温控装置，所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述变频供电装置包括依次连接的高频电源、石英晶体谐振器及谐振电容；

其中，所述高频电源的输出端与所述石英晶体谐振器的输入端连接，所述石英晶体谐振器的输出端与所述谐振电容的输入端连接，所述谐振电容的输出端与所述负载螺线圈连接。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述高频电源的功率为1-10kW，所述高频电源的输出频率为5-100kHz。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述温控装置包括脉冲宽度调制器、控制器以及温度传感器，所述控制器分别与所述脉冲宽度调制器和所述温度传感器连接，所述脉冲宽度调制器的输出端与所述石英晶体谐振器连接；

其中，所述温度传感器用于检测蒸镀坩埚的加热温度，并将检测得到的温度数据传输给所述控制器，所述控制器根据得到的温度数据控制所述脉冲宽度调制器向所述石英晶体谐振器输出温度调节信号。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述温度传感器设置在所述蒸镀坩埚的底部中心的外表面。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述负载螺线圈与所述蒸镀坩埚的外壁之间的距离在15-50mm之间。

优选的，前述的蒸镀设备，其中所述负载螺线圈采用截面为圆形或者截面为矩形的线材盘绕而成；

所述线材的截面积为10-50mm²。