[发明专利]蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811579993.7 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109576650A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 变频供电装置 蒸镀设备 螺线圈 坩埚 金属源 容纳空间 温控装置 加热 电阻加热 温度梯度 有效解决 受热 容纳 输出 检测 能源 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于，其包括：
蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；
负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；
变频供电装置，所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；
温控装置，所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。
2.根据权利要求1中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述变频供电装置包括依次连接的高频电源、石英晶体谐振器及谐振电容，所述谐振电容与所述负载螺线圈连接；
其中，所述高频电源的输出端与所述石英晶体谐振器的输入端连接，所述石英晶体谐振器的输出端与所述谐振电容的输入端连接，所述谐振电容的输出端与所述负载螺线圈连接。
3.根据权利要求2中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述高频电源的功率为1-10kW，所述高频电源的输出频率为5-100kHz。
4.根据权利要求2中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述温控装置包括脉冲宽度调制器、控制器以及温度传感器，所述控制器分别与所述脉冲宽度调制器和所述温度传感器连接，所述脉冲宽度调制器的输出端与所述石英晶体谐振器连接；
其中，所述温度传感器用于检测蒸镀坩埚的加热温度，并将检测得到的温度数据传输给所述控制器，所述控制器根据得到的温度数据控制所述脉冲宽度调制器向所述石英晶体谐振器输出温度调节信号。
5.根据权利要求4中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述温度传感器设置在所述蒸镀坩埚的底部中心的外表面。
6.根据权利要求1中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述负载螺线圈与所述蒸镀坩埚的外壁之间的距离在15-50mm之间。
7.根据权利要求1中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述负载螺线圈采用截面为圆形或者截面为矩形的线材盘绕而成；
所述线材的截面积为10-50mm2。
8.根据权利要求7中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述线材的截面积为35mm2。
9.根据权利要求7中所述蒸镀设备，其特征在于，
相邻两圈所述负载螺线圈的所述线材之间的距离小于5mm。
10.根据权利要求1中所述蒸镀设备，其特征在于，
所述蒸镀坩埚的数量至少为一个，所述负载螺线圈的数量与所述蒸镀坩埚数量相同；
其中，每个所述蒸镀坩埚对应设置在一个所述负载螺线圈的容纳空间中。
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