[发明专利]一种清理装置

权利要求书

1.一种清理装置，设置于真空溅射镀膜设备内部，其特征在于，包括：承载架和清洁组件，所述承载架能够在所述真空溅射镀膜设备内移动，所述承载架上设有第一滑道，所述第一滑道上设有第二滑道，所述第二滑道能够沿所述第一滑道往复运动，所述清洁组件设置于所述第二滑道上，所述清洁组件能够沿所述第二滑道往复运动，所述第一滑道与所述第二滑道垂直，所述清洁组件用于对真空溅射镀膜设备内部进行清洁。

2.根据权利要求1所述的清理装置，其特征在于，所述清洁组件包括承载板、摄像头和粘取组件，所述承载板设置所述第二滑道上，所述摄像头和所述粘取组件均设置于所述承载板上，所述粘取组件具有粘性。

3.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述粘取组件包括第一伸缩杆和胶团，所述第一伸缩杆一端与所述承载板转动连接，另一端与所述胶团连接，所述胶团具有粘性。

4.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清洁组件还包括清扫组件，所述清扫组件包括第二伸缩杆和扫刷，所述第二伸缩杆一端与所述承载板转动连接，另一端与所述扫刷连接。

5.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清理装置还包括吸尘器，所述吸尘器设置于所述承载架上。

6.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清洁组件还包括测距传感器，所述测距传感器设置于所述承载板上。

7.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清洁组件还包括可变色LED灯，所述可变色LED灯设置于所述承载板上。

8.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清洁组件还包括旋转刷组件，所述旋转刷包括第三伸缩杆和刷头，所述第三伸缩杆一端与所述承载板连接，另一端与所述刷头转动连接，所述刷头呈圆柱状，且所述刷头的轴线与所述承载板垂直。

9.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述清理装置还包括压缩气泵和喷气嘴，所述压缩气泵设置于所述承载架上，所述喷气嘴设置于所述承载板上，所述压缩气泵和所述喷气嘴通过导气管连通。

10.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述承载架背离所述清洁组件的一侧设有粘贴层，所述粘贴层具有粘性。