[发明专利]柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板

说明书

本发明提供一种柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板。柔性阵列基板包括：柔性基底；以及多层无机层和多层金属层在所述柔性基底上堆叠形成的多个薄膜晶体管，其中，至少一层无机层图案化形成多个包含薄膜晶体管的岛状结构，相邻岛状结构之间填充有弯折性能大于所述无机层的有机层，使得所述柔性阵列基板弯曲时，相邻岛状结构具有间隙以进行应力释放。本发明提供的柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板通过一层或多层无机层图案化后，在弯折及绕曲过程中，可释放应力，遏制无机层裂纹产生，防止由于无机层裂纹导致的器件损坏及密封作用失效，最终导致显示异常。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板。

背景技术

近年来，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)技术发展迅速，已经成为最有可能替代LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)的前景技术。

OLED显示面板又可以分为刚性面板和柔性面板。相较于传统显示面板，OLED柔性面板优势明显，不仅在体积上更加轻薄，功耗上也低于原有器件，有助于提升设备的续航能力，同时基于其可弯曲、柔韧性佳的特性，其耐用程度也大大高于以往屏幕，降低设备意外损伤的概率。

然而，柔性显示面板的现有膜层结构设计存在大面积无机层，无机层在柔性显示面板中主要作用为形成电容、金属间绝缘及阻水氧的密封作用。如图1和图2所示，显示面板中包括衬底110、无机层120及金属层130。在图1向图2变化的过程中，大面积无机层120在弯折的过程中通常会因应力无法释放，易发生裂纹，引起器件损坏，最终导致显示异常。由此可见，现有的膜层结构设计难以适用于柔性折叠显示。

发明内容

本发明为了克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板，其能够适用于柔性折叠显示。

根据本发明的一个方面，提供一种柔性阵列基板，包括：

柔性基底；以及

多层无机层和多层金属层在所述柔性基底上堆叠形成的多个薄膜晶体管，其中，至少一层无机层图案化形成多个包含薄膜晶体管的岛状结构，相邻岛状结构之间填充有弯折性能大于所述无机层的有机层，使得所述柔性阵列基板弯曲时，相邻岛状结构具有间隙以进行应力释放。

可选地，所述柔性阵列基板弯曲时，相邻岛状结构不接触或虚接触。

可选地，自第一方向依次选取薄膜晶体管之间的一层或多层无机层图案化，所述第一方向垂直所述柔性基底，且自所述柔性基底形成多个薄膜晶体管的一侧朝向所述柔性基底。

可选地，所述岛状结构在垂直所述柔性基底的截面上的宽度沿第一方向增大。

可选地，所述岛状结构在垂直所述柔性基底的截面上的最小宽度为w₁，所述岛状结构在垂直所述柔性基底的截面上的最大宽度为w₂，所述岛状结构在垂直所述柔性基底的截面上的侧边长度为h₁，则所述柔性基底在相邻岛状结构之间的曲率半径R大于h₁w₁/(w₂-w₁)，其中，w₁、w₂、h₁、R都为大于0的常数。

可选地，所述无机层图案在垂直所述柔性基底的截面上的宽度大于薄膜晶体管的任一金属层在垂直所述柔性基底的截面上的宽度。

可选地，所述多层无机层包括：

缓冲层，形成在所述柔性基底之上；

栅绝缘层，所述缓冲层位于所述栅绝缘层和所述柔性基底之间；以及

接触孔形成层，所述栅绝缘层位于所述接触孔形成层和所述缓冲层之间。