[发明专利]等离子体源及等离子体治疗装置

权利要求书

1.一种等离子体源，其特征在于，包括：

电极板，在基板上形成有具有多个放电点的电极，并形成有覆盖所述电极的电介质；

输出板，在所述电极板的一面与电极板隔开地布置，并具有在输出板的对向的两个端部分别形成的预定高度的气障，并且形成有多个孔；以及

狭缝喷头模块，在所述电极板和输出板之间形成有供应气体的喷头，并组装于没有所述气障的一侧的电极板以及输出板的端部，使得气体限制在由所述电极板和输出板之间的间隙形成的空间中，

所述狭缝喷头模块具有能够插入电极板和输出板的端部的狭缝结构部，并且所述狭缝结构部与所述喷头连通，所述气障和所述狭缝结构部的壁面起到限制气体的作用，

所述电极板为微间隙电极介质阻挡放电型电极，包括：

绝缘体基板；

电极，在所述绝缘体基板上通过光刻技术图案化而形成，以具有多个放电点；以及

电介质，覆盖所述电极，

供应惰性气体以针对用于供应气体的喷嘴进行杀菌，并供应氮气以治疗伤口，通过等离子体的放电功率为0.04至1.22J/秒，通过等离子体放电而生成的臭氧浓度小于0.1ppm。

2.如权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，

所述气障具有预定高度，并且其端部弯曲而形成能够插入输出板的端部的槽。

3.如权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，

在所述电极板的另一面设置有等离子体放电控制板，并且所述控制板包括：

转换电路，将一般电压转换成能够进行等离子体放电的高电压；

电压控制电路，控制放电电压的电压波形状、占空比以及频率，以控制活性种的种类和浓度；以及

气体供应量控制电路，用于控制气体供应量。

4.如权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，

所述狭缝喷头模块还包括：固定部，设置有固定所述电极板和输出板所需的固定部件；以及电线通道与收纳部，用于与施加在所述电极板的电极的控制板之间的电连接。

5.一种等离子体治疗装置，其特征在于，如权利要求1至4中的任意一项中所述的等离子体源安装于等离子体头部，从而使用等离子体治疗创伤或者烧伤。

6.如权利要求5所述的等离子体治疗装置，其特征在于，

所述等离子体的头部具有一个以上收纳等离子体源的支架，所述支架具有铰链，从而能够分别调节每个等离子体源的排向并能够使等离子体源作为一个整体呈现曲面。