[发明专利]等离子体源及等离子体治疗装置

说明书

本发明提供一种等离子体源及等离子体治疗装置，尤其提供一种适用于治疗创伤或者烧伤的大面积等离子体源，并提供能够在这种大面积等离子体源产生均匀的等离子体放电的手段。据此，本发明提供一种大面积等离子体源，其特征在于，包括：大面积电极板，在基板上形成有具有多个放电点的电极，并且形成有覆盖所述电极的电介质；输出板，在所述电极板的一面与电极板隔开地布置，并具有在输出板的对向的两个端部分别形成的预定高度的气障，并且形成有多个孔；以及狭缝喷头模块，在所述电极板和输出板之间形成有供应气体的喷头，并组装于没有所述气障的一侧的电极板以及输出板的端部，使得气体限制在由所述电极板和输出板之间的间隙形成的空间中。

技术领域

本发明涉及一种利用等离子体的治疗装置，尤其涉及一种能够有效治疗创伤或者烧伤的治疗装置。

背景技术

近来，等离子体不仅应用于半导体制造、核融合、各种表面处理，还结合应用于生物领域。这种融合技术不仅需要具备等离子体目前所具备的高能量特性，还需要具备生物领域中所需的多种特性。等离子体根据放电气体和施加的电压的特性，能够产生不同种类和浓度的活性种，并且活性种的寿命也可以不同。这种活性种特性的差异应该根据期望应用的具体情况而区别地控制，并且为了实现在生物领域中的商用化，需要具备安全性和可靠性。并且，根据应用领域有时还需要使所产生的等离子体大面积化，在进行大面积化时还需要具备等离子体密度的均匀性。

韩国公开专利10-2018-0015059号中公开了一种利用等离子体进行脸部皮肤治疗的方案，其中，等离子体产生部单独配备于覆盖脸部的面罩上方，并且构成为所产生的活性种和等离子体粒子沿面罩内部扩散。这种结构具有难以对治疗部位整体均匀地供应等离子体和活性种的问题。

韩国授权专利10-1568380号公开了一种曲面放电等离子体源，所述曲面放电等离子体源构成有多个用于喷出等离子体的孔。等离子体的最大放电面积公开为10cm²，可见用于治疗实际患部则面积过小。并且，实际上对所述面积也难以形成均匀的面放电，并且在平面电极的配置中，用于等离子体放电的施加电压，这也具有安全性问题和臭氧产生量过多的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适用于治疗创伤或者烧伤的大面积等离子体源，并提供能够在这种大面积等离子体源发生均匀的等离子体放电的手段。

并且，本发明旨在提供一种具有大面积等离子体源的等离子体治疗装置，所述治疗装置适用于患部的曲面。

根据所述目的，本发明提供了一种大面积等离子体源，其特征在于，包括：大面积电极板，在基板上形成有具有多个放电点的电极，并且形成有覆盖所述电极的电介质；输出板，在所述电极板的一面与电极板隔开地布置，并具有在输出板的对向的两个端部分别形成的预定高度的气障，并且形成有多个孔；以及狭缝喷头模块，在所述电极板和输出板之间形成有供应气体的喷头，并组装于没有所述气障的一侧的电极板以及输出板的端部，使得气体限制在由所述电极板和输出板之间的间隙形成的空间中。

并且，本发明的等离子体治疗装置提供能够组装多个所述大面积等离子体源的大面积支架，并在大面积等离子体源的安装部提供铰链，以能够分别调节每个等离子体源的排向。

即，本发明提供一种大面积等离子体源，其特征在于，包括：大面积电极板，在基板上形成有配备多个放电点的电极，并且形成有覆盖该电极的电介质；输出板，在所述电极板的一面与所述电极板隔开地设置，并具有在输出板的对向的两个端部分别形成的预定高度的气障，并且形成有多个孔(hole)；以及狭缝喷头模块，在所述电极板和输出板之间形成有供应气体的喷头，并组装于没有所述气障的一侧的电极板以及输出板的端部，使得气体限制在由所述板间的间隙形成的空间中。

并且，本发明提供一种大面积等离子体源，其特征在于，在如上所述的大面积等离子体源中，所述气障具有预定高度，并且其端部弯曲形成能够插入输出板的端部的槽。