[发明专利]有机发光器件及其制作方法有效
申请号: | 201811565414.3 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN109659348B | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 潘凌翔 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 器件 及其 制作方法 | ||
本揭示提供了有机发光器件及其制作方法。有机发光器件包括衬底基板、平坦层、阳极结构、堤层和接触孔。堤层和接触孔设置在平坦层上。接触孔露出阳极结构的侧壁、阳极结构的部分上表面和平坦层的部分上表面。本揭示能减少有机发光器件的电压衰退,进而改善有机发光器件的发光性能。
【技术领域】
本揭示涉及显示技术领域,特别涉及一种有机发光器件及其制作方法。
【背景技术】
现有有机发光器件的接触孔结构中,由于辅助阴极与面阴极之间有一层导电性较差的电子传输层,往往需要利用高电压对电子传输层进行烧屏(burn in)操作,然而,这种烧屏操作的过程繁琐且效果并不明显。
故,有需要提供一种有机发光器件及其制作方法,以解决现有技术存在的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题,本揭示的一目的在于提供有机发光器件及其制作方法,其能减少有机发光器件的电压衰退,进而改善有机发光器件的发光性能。
为达成上述目的,本揭示提供一有机发光器件的制作方法,包括:
提供衬底基板;
在所述衬底基板上在相同的层上形成源极、漏极和辅助阴极;
在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上形成第一绝缘层和平坦层;
在所述第一绝缘层和所述平坦层上形成多个第一孔;
在所述平坦层上形成阳极结构,所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触;以及
在所述平坦层上形成堤层和接触孔,其中所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。
于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。
于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过两个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的两个侧壁,且所述接触孔位于所述阳极结构的所述两个侧壁之间。
于本揭示其中的一实施例中,所述方法还包括在所述堤层上形成阴极结构,所述阴极结构通过所述接触孔与所述阳极结构的所述侧壁接触。
于本揭示其中的一实施例中,所述方法还包括在所述阳极结构及所述堤层上依序形成电洞注入层、电洞传输层、发光层、电子传输层和所述阴极结构。
于本揭示其中的一实施例中,提供所述衬底基板的步骤包括:
提供基板;
在所述基板上依序形成栅极电极、第二绝缘层、半导体层及第三绝缘层;以及
在所述第三绝缘层上形成多个第二孔,其中所述源极和所述漏极通过所述第二孔接触所述半导体层。
本揭示还提供有机发光器件,包括衬底基板、源极、漏极、辅助阴极、第一绝缘层、平坦层、多个第一孔、阳极结构、堤层和接触孔。所述源极、所述漏极和所述辅助阴极设置在所述衬底基板上的相同的层上。所述第一绝缘层和所述平坦层设置在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上。所述第一孔设置在所述第一绝缘层和所述平坦层上。所述阳极结构设置在所述平坦层上。所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触。所述堤层和所述接触孔设置在所述平坦层上。所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。
于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的