[发明专利]有机发光器件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201811565414.3 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN109659348B 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 潘凌翔 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 有机 发光 器件 及其 制作方法
【说明书】:

本揭示提供了有机发光器件及其制作方法。有机发光器件包括衬底基板、平坦层、阳极结构、堤层和接触孔。堤层和接触孔设置在平坦层上。接触孔露出阳极结构的侧壁、阳极结构的部分上表面和平坦层的部分上表面。本揭示能减少有机发光器件的电压衰退,进而改善有机发光器件的发光性能。

【技术领域】

本揭示涉及显示技术领域,特别涉及一种有机发光器件及其制作方法。

【背景技术】

现有有机发光器件的接触孔结构中,由于辅助阴极与面阴极之间有一层导电性较差的电子传输层,往往需要利用高电压对电子传输层进行烧屏(burn in)操作,然而,这种烧屏操作的过程繁琐且效果并不明显。

故,有需要提供一种有机发光器件及其制作方法,以解决现有技术存在的问题。

发明内容】

为解决上述技术问题,本揭示的一目的在于提供有机发光器件及其制作方法,其能减少有机发光器件的电压衰退,进而改善有机发光器件的发光性能。

为达成上述目的,本揭示提供一有机发光器件的制作方法,包括:

提供衬底基板;

在所述衬底基板上在相同的层上形成源极、漏极和辅助阴极;

在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上形成第一绝缘层和平坦层;

在所述第一绝缘层和所述平坦层上形成多个第一孔;

在所述平坦层上形成阳极结构,所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触;以及

在所述平坦层上形成堤层和接触孔,其中所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。

于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。

于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过两个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的两个侧壁,且所述接触孔位于所述阳极结构的所述两个侧壁之间。

于本揭示其中的一实施例中,所述方法还包括在所述堤层上形成阴极结构,所述阴极结构通过所述接触孔与所述阳极结构的所述侧壁接触。

于本揭示其中的一实施例中,所述方法还包括在所述阳极结构及所述堤层上依序形成电洞注入层、电洞传输层、发光层、电子传输层和所述阴极结构。

于本揭示其中的一实施例中,提供所述衬底基板的步骤包括:

提供基板;

在所述基板上依序形成栅极电极、第二绝缘层、半导体层及第三绝缘层;以及

在所述第三绝缘层上形成多个第二孔,其中所述源极和所述漏极通过所述第二孔接触所述半导体层。

本揭示还提供有机发光器件,包括衬底基板、源极、漏极、辅助阴极、第一绝缘层、平坦层、多个第一孔、阳极结构、堤层和接触孔。所述源极、所述漏极和所述辅助阴极设置在所述衬底基板上的相同的层上。所述第一绝缘层和所述平坦层设置在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上。所述第一孔设置在所述第一绝缘层和所述平坦层上。所述阳极结构设置在所述平坦层上。所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触。所述堤层和所述接触孔设置在所述平坦层上。所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。

于本揭示其中的一实施例中,所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触,所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。

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