[发明专利]载板传输控制方法及系统

权利要求书

1.一种载板传输控制方法，其特征在于，包括：

判断载板是否到达装载腔的第一通过口；

如果是，则通过伺服系统直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；

在所述第一位置，所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；

其中，所述第一速度和所述第二速度均为匀速速度，所述第二速度小于所述第一速度；

所述第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；

所述第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，在所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置之后，所述方法还包括：

所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第三速度减速前进设定的第三距离直至停止，以到达装载腔的第三位置；

其中，所述第三速度为减速到零的变速速度。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，还包括：

判断载板是否到达装载腔的第二通过口；

如果是，则通过伺服系统直接控制所述载板以设定的第四速度前进设定的第四距离，以到达装载腔内的第二位置；

在所述第二位置，所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第五速度前进设定的第五距离，以达到设定的第一位置；

其中，所述第四速度和所述第五速度均为匀速速度，所述第五速度小于所述第四速度。

4.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于，在所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第五速度前进设定的第五距离，以达到设定的第一位置之后，所述方法还包括：

所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第六速度减速前进设定的第六距离直至停止，以到达装载腔的第四位置；

其中，所述第六速度为减速到零的变速速度。

5.一种载板传输控制系统，其特征在于，包括第一门阀传感器和伺服系统；

所述第一门阀传感器，用于检测载板是否达到装载腔的第一通过口；

如果是，则伺服系统直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；

所述伺服系统，还用于在所述第一位置直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；

其中，所述第一速度和所述第二速度均为匀速速度，所述第二速度小于所述第一速度；

所述第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；

所述第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。

6.根据权利要求5所述的控制系统，其特征在于，所述伺服系统还用于直接控制所述载板以设定的第三速度减速前进设定的第三距离直至停止，以到达装载腔的第三位置；

其中，所述第三速度是减速到零的变速速度。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，还包括：

第二门阀传感器，用于检测载板是否到达装载腔的第二通过口；

如果是，则所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第四速度前进设定的第四距离，以到达装载腔内的第二位置；

所述伺服系统，还用于在所述第二位置直接控制所述载板以设定的第五速度前进设定的第五距离，以达到设定的第一位置；

其中，所述第四速度和所述第五速度均为匀速速度，所述第五速度小于所述第四速度。

8.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述伺服系统还用于直接控制所述载板以设定的第六速度减速前进设定的第六距离直至停止，以到达装载腔的第四位置；

其中，所述第六速度为减速到零的变速速度。