[发明专利]基于空腔尺寸调整有效机电耦合系数的装置

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

底电极，设置在基底上方；

顶电极；和

压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，

其中：

所述压电层的上下两侧中的至少一侧形成有空腔，所述空腔具有对应的宽度和高度，所述空腔形成所述谐振器的有效区域的组成部分。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空腔仅包括设置在底电极与压电层之间的第一空腔，第一空腔具有第一宽度和第一高度；且

所述第一空腔、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域。

3.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空腔包括设置在底电极与压电层之间的第一空腔以及设置在压电层与顶电极之间的第二空腔；

第一空腔具有第一宽度和第一高度，第二空腔具有第二宽度和第二高度；且

所述第一空腔、第二空腔、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域。

4.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述谐振器还包括声学镜；

所述空腔仅包括设置在压电层与顶电极之间的第二空腔，第二空腔具有第二宽度和第二高度；且

所述声学镜、第二空腔、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域。

5.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述谐振器的有效机电耦合系数小于压电层上下两侧无空腔结构对应谐振器的有效机电耦合系数。

6.一种调整根据权利要求1-5中任一项所述的体声波谐振器的有效机电耦合系数的方法，包括步骤：

通过调整所述空腔的高度和/或宽度，调节所述有效机电耦合系数。

7.根据权利要求6所述的方法，其中：

通过提高所述高度降低所述有效机电耦合系数。

8.根据权利要求7所述的方法，其中：

通过降低所述高度提高所述有效机电耦合系数。

9.一种滤波器，包括：

串联支路，包括多个串联谐振器；

多个并联支路，每个并联支路包括至少一个并联谐振器，

其中：

所述并联谐振器和所述多个串联谐振器中的至少一个谐振器的有效机电耦合系数不同于其他谐振器的有效机电耦合系数，所述至少一个谐振器为根据权利要求1-5中任一项所述的体声波谐振器。

10.根据权利要求9所述的滤波器，其中：

所述并联谐振器和所述多个串联谐振器中的至少两个谐振器为根据权利要求1-5中任一项所述的谐振器，且所述至少两个谐振器基于所述宽度和/或所述高度的不同，而具有彼此不同的有效机电耦合系数。

11.一种电子设备，包括根据权利要求9或10所述的滤波器或者根据权利要求1-6中任一项所述的体声波谐振器。