[发明专利]一种用于织构镍基合金冷轧薄带表面EBSD测试的样品制备方法在审
| 申请号： | 201811540640.6 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109387530A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志勇;刘朋飞;胡艳春;刘海瑞;杨纪恩 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镍基合金 样品表面 样品制备 薄带 溅射 冷轧 织构 辉光放电光谱仪 砂纸 冷轧变形量 方向一致 基带表面 机械打磨 镍钒合金 镍铜合金 镍钨合金 高纯氩 划痕 基带 气压 成功率 打磨 剥离 取出 新鲜 | ||
1.一种用于织构镍基合金冷轧薄带表面EBSD测试的样品制备方法，包括以下步骤：
(1)对镍基合金基带表面进行机械打磨
将冷轧变形量为30％～99％、厚度为20μm以上的镍基合金基带切成面积为30mm×30mm的样品，镍基合金包括镍钨合金、镍铜合金及镍钒合金，将样品表面在5000#砂纸上打磨至划痕方向一致；
(2)对样品表面进行剥离
将样品置于辉光放电光谱仪中进行溅射处理，电压为600～900V，电流为5～9mA，充入高纯氩，气压为50～200Pa，对样品溅射10～18秒，然后取出获得新鲜的样品表面即可进行EBSD测试。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述镍基合金为镍钨合金，钨原子百分含量为6％。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述镍基合金为镍铜合金，铜原子百分含量为45％。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述镍基合金为镍铜合金，铜原子百分含量为55％。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述镍基合金为镍钒合金，钒原子百分含量为10％。
6.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述冷轧变形量为30％。
7.如权利要求3所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述冷轧变形量为30％。
8.如权利要求4所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述冷轧变形量为70％。
9.如权利要求5所述的制备方法，其中，步骤(1)中，所述冷轧变形量为60％。
10.如权利要求3所述的制备方法，其中，步骤(2)中，在进行溅射处理时，电压为600V，电流为5mA，充入高纯氩，气压为200Pa，对样品溅射10秒。
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