[发明专利]一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法

权利要求书

1.一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述EBSD测试试样表面处理方法包括以下步骤：

（1）配置EBSD腐蚀所需的腐蚀剂，腐蚀剂配比为：盐酸15～30ml、硝酸5～10ml、无水乙醇50～80ml、丙三醇10～30ml；

（2）将试样制备成宽：5～10mm、长：5～10mm、厚：1～5mm的EBSD测试所需尺寸；

（3）对试样表面进行打磨，抛光；

（4）将试样浸于-20～-10℃下腐蚀剂中进行表面腐蚀处理，腐蚀完成后，清洗表面并观察，直至试样腐蚀面组织显现，表面变成灰色为止；

（5）试样进行EBSD测试。

2.根据权利要求1所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（1）中盐酸、硝酸、无水乙醇、丙三醇均为分析纯。

3.根据权利要求1所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（3）中打磨采用机械磨光，依次使用240目、400目、800目、1000目的砂纸，机械磨光每道工序完成后试样调整90度，以观察不到之前工序的磨痕作为磨光完成的条件。

4.根据权利要求1所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（3）中抛光采用机械抛光，使用0.5～2.5μm金刚石抛光剂，抛光机转速为300～500r/min，抛光时间为180～360s。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（4）腐蚀剂需要提前冷却到-20～-10℃，然后对试样进行腐蚀，腐蚀时间30～60s。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（4）腐蚀剂可用液氮冷却到-20～-10℃。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（4）腐蚀完成后，用无水乙醇对试样表面进行冲洗，使用吹风机对试样表面进行吹干，然后进行EBSD测试。

8.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（5）EBSD测试要求试样解析率≥80%。

9.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述步骤（5）EBSD测试中，对于解析率小于80%的试样，需重复步骤（4），继续腐蚀试样表面应力层，去除表面残余应力，直至EBSD测试试样解析率≥80%。

10.根据权利要求1-4任意一项所述的一种高氮不锈钢的EBSD测试试样表面处理方法，其特征在于，所述EBSD测试试样为高氮不锈钢，氮含量为0.5～0.8%。