[发明专利]一种压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：

衬底；

设置于所述衬底表面的单晶硅层；

以及设置于所述单晶硅层表面的压感电阻、加热单元、测温单元和控制单元，所述控制单元分别与所述加热单元和所述测温单元电连接；所述加热单元设置于所述压感电阻周边。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：

所述衬底远离所述单晶硅层的表面设置有凹槽或者所述衬底邻近所述单晶硅层的表面设置有凹槽；

所述单晶硅层包括第一区域以及围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域与所述衬底设置有凹槽的区域对应；

所述压感电阻至少部分设置于所述单晶硅层的所述第一区域；所述测温单元和所述控制单元设置于所述单晶硅层的所述第二区域。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：

所述压力传感器包括多个压感电阻，每一所述压感电阻对应一加热单元。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于：

所述压力传感器包括四个压感电阻，所述第一区域的形状为矩形，每一所述压感电阻分别设置于所述第一区域的一个边。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于：

所述加热单元的形状为U型，所述加热单元环绕所述压感电阻，且所述U型的开口朝向所述压感电阻最邻近的所述第一区域的边。

6.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：

所述压力传感器包括多个压感电阻，所述多个压感电阻均设置于所述第一区域的同一边；

所述加热单元环绕所述多个压感电阻。

7.根据权利要求6所述的压力传感器，其特征在于：

所述压力传感器包括四个压感电阻，所述四个压感电阻围成一矩形，所述加热单元包括四个边，每一边对应一压感电阻，且与对应的压感电阻平行设置。

8.根据权利要求3或6所述的压力传感器，其特征在于：

所述加热单元与所述压感电阻之间的距离为0.5微米-1微米。

9.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，还包括：

检测电极和保护层；

所述检测电极与所述压感电阻电连接；

所述保护层覆盖所述压感电阻、所述加热单元、所述测温单元和所述控制单元。

10.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：

所述衬底的形状为正方形，所述衬底的边长为1毫米-2毫米；

所述第一区域的形状为正方形，所述第一区域的边长为0.5毫米-1毫米。