[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 201811532004.9 申请日: 2018-12-14
公开(公告)号: CN110838319A 公开(公告)日: 2020-02-25
发明(设计)人: 下城义朗;佐贯朋也 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: G11C16/04 分类号: G11C16/04
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具有:

半导体衬底;

第1配线层,位于半导体衬底上方,且包含第1电极及第2电极,所述第1电极沿与所述半导体衬底平行的第1方向延伸,所述第2电极沿与所述第1方向交叉且与所述半导体衬底平行的第2方向延伸,并且与所述第1电极的一端相接;

第2配线层,包含第3电极及第4电极,所述第3电极与所述第1电极在所述第2方向上相邻地配置,与所述第1电极不电连接,且沿所述第1方向延伸,所述第4电极沿所述第2方向延伸,且与所述第3电极的一端相接;

第1半导体层,设置在所述第1电极与所述第3电极之间,且沿与所述半导体衬底垂直的第3方向延伸;

第1存储部,设置在所述第1半导体层与所述第1电极之间;

第2存储部,设置在所述第1半导体层与所述第3电极之间;及

第1位线,设置在所述第1半导体层的上方,沿所述第1方向延伸,且与所述第1半导体层电连接。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具有:

第2半导体层,设置在所述第1电极与所述第3电极之间,且沿所述第3方向延伸;

第3存储部,设置在所述第1电极与所述第2半导体层之间;

第4存储部,设置在所述第3电极与所述第3半导体层之间;及

第2位线,设置在所述第1及第2半导体层的上方,与所述第1位线相邻,沿所述第1方向延伸,且与所述第2半导体层电连接。

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中

所述第1配线层还包含第5电极,所述第5电极与所述第3电极在所述第2方向上相邻地配置,沿所述第1方向延伸,且一端与所述第2电极相接,

所述第2配线层还包含第6电极,所述第6电极与所述第5电极在所述第2方向上相邻地配置,沿所述第1方向延伸,且一端与所述第4电极相接。

4.根据权利要求3所述的半导体存储装置,其还具有:

多个第3半导体层,设置在所述第3电极与所述第5电极之间,沿所述第3方向延伸,且沿着所述第1方向配置;及

多个第4半导体层,设置在所述第5电极与所述第6电极之间,沿所述第3方向延伸,且沿着所述第1方向配置。

5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1及第2存储部分别包含第1绝缘层、电荷蓄积层、及第2绝缘层。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具有第3配线层,所述第3配线层设置在所述半导体衬底与所述第1及第2配线层之间,沿所述第1方向延伸,且上表面与所述第1半导体层的底面相接。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1半导体层具有所述第1方向上的直径比所述第2方向上的直径长的圆筒形状。

8.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具有:

第1插塞,设置在所述第1半导体层上;及

第3配线层,设置在所述第1插塞上,与所述第1位线电连接,且沿所述第1方向延伸。

9.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其中所述第3配线层的所述第1方向上的长度比所述第1半导体层的所述第1方向上的长度长。

10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

所述第1配线层还包含第1连接部,所述第1连接部沿所述第1方向延伸,端部连接于所述第2电极的端部,且在上表面连接着第1插塞,

所述第2配线层还包含第2连接部,所述第2连接部沿所述第1方向延伸,端部连接于所述第4电极的端部,且在上表面连接着第2插塞。

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