[发明专利]OLED基板及其图案偏移检测方法、装置有效
| 申请号: | 201811519123.0 | 申请日: | 2018-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN109767994B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
| 发明(设计)人: | 罗志猛;赵云 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L27/32 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 吴平 |
| 地址: | 516600 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | oled 及其 图案 偏移 检测 方法 装置 | ||
本发明涉及一种OLED基板及其图案偏移检测方法、装置,所述基板设有显示区和检测区,显示区形成第一图案和第二图案,所述方法包括:获取与第一图案对应的第一检测图案和与第二图案对应的第二检测图案,第一检测图案与第二检测图案之间具有预设偏移量;在显示区形成第一图案和第二图案的同时,在检测区形成第一检测图案和第二检测图案;获取形成后的第一检测图案与第二检测图案之间的偏移量;根据偏移量和预设偏移量,获取第一图案与第二图案之间的偏移量。由此,通过在显示区外设置与第一图案和第二图案相对应的第一检测图案和第二检测图案,以将第一图案和第二图案显化,从而有利于实现对第一图案与第二图案的套嵌情况的检测。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种OLED基板及其图案偏移检测方法、装置。
背景技术
CF(Color Filter,彩色滤光片)和WOLED(White Organic Light EmittingDiode,白光有机发光半导体)是实现OLED全彩化显示的重要方法。
目前,全彩化OLED的基本结构是通过RGB和BM(Black Matrix,黑色矩阵)定义像素发光区,并通过OCA(Optically Clear Adhesive,光学胶)平坦化后,制作ITO(Indium TinOxides,氧化铟锡)等图案以及OLED其它功能层,并设置后盖密封。其中,最关键的技术之一就是OLED图案与BM图案的套嵌,由于BM图案不透光且反射率低(通常小于10%),导致OLED图案与BM图案的套嵌位置难以在显微镜下检测,从而无法确定OLED图案与BM图案的套嵌情况。
发明内容
基于此,有必要针对由于BM图案不透光且反射率低,导致的OLED图案与BM图案的套嵌位置难以检测的问题,提供一种OLED基板及其图案偏移检测方法、装置。
一种OLED基板的图案偏移检测方法,基板设有显示区和检测区,显示区形成第一图案和第二图案,方法包括:
获取与第一图案对应的第一检测图案和与第二图案对应的第二检测图案,第一检测图案与第二检测图案之间具有预设偏移量;
在显示区形成第一图案和第二图案的同时,在检测区形成第一检测图案和第二检测图案;
获取形成后的第一检测图案与第二检测图案之间的偏移量;
根据形成后的第一检测图案与第二检测图案之间的偏移量和预设偏移量,获取第一图案与第二图案之间的偏移量。
在其中一个实施例中,获取与第一图案对应的第一检测图案和与第二图案对应的第二检测图案,包括:
根据第一图案确定第一检测图案;
在第一检测图案的基础上,根据第二图案确定第二检测图案,并使第二检测图案的边界超过第一检测图案的边界预设偏移量。
在其中一个实施例中,第一图案与第二图案之间的偏移量包括行偏移量和列偏移量,
根据第一图案确定第一检测图案,包括:
根据第一图案的列图案确定用于获取行偏移量的第一行检测图案;
根据第一图案的行图案形成用于获取列偏移量的第一列检测图案,第一检测图案包括第一行检测图案和第一列检测图案。
在其中一个实施例中,根据第二图案确定第二检测图案,包括:
根据第二图案的列图案确定用于获取行偏移量的行初始检测图案,行初始检测图案在列方向上的边界与第一行检测图案在列方向上的边界重叠;
将行初始检测图案在行方向上的边界向第一行检测图案的列中心线或向背离列中心线的方向延长预设行偏移量,以获得第二行检测图案;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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