[发明专利]一种激光振镜精度校正方法、装置及系统

说明书

本发明涉及一种激光振镜精度校正方法、装置及系统，该方法包括如下步骤：根据预设的标准图形控制激光束经过激光振镜后在工件上雕刻生成多个标识点；根据获取的包括所述标识点的图像确定包括所有所述标识点的标识图形；比对所述标准图形和所述标识图形，根据比对结果确定校正参数；根据所述校正参数更新激光振镜的校正文档。本发明提供的技术方案可以提高激光振镜的校正效率，并保证校正精度，改善激光加工的全流程工作效率。

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光振镜精度校正方法、装置及系统。

背景技术

在进行激光加工时，由激光器以固定频率发射出激光束，激光束通过振镜高速扫描运动后作用于工件上，并完成相应图形加工。为了保证图形加工的精度，需要对振镜进行校正。现有的校正方法主要为，首先使激光束通过振镜后在工件上加工出格点阵列，例如3×3、15×15格点阵列，然后通过二次元影像测量仪或者类似检测仪器检测每一个格点的坐标值，最后将坐标值输入到振镜的校正文档之中，以达到校正振镜目的。

随着激光器和振镜的长期使用，每隔一段时间，振镜的精度都会因环境温度、湿度、振动等外部因素以及振镜本身温漂而发生变化，为了纠正振镜偏差，需要不断对其进行校正，而现有校正方法在每次校正时都需要重新加工格点，并在检测仪器上检测格点坐标，最终将得到的坐标数据输入到振镜校正文档之中，其过程相当复杂冗长，校正效率较低，进而影响整个激光加工流程。

发明内容

为了提高对激光振镜校正的工作效率，并保证校正的精度，本发明提供一种激光振镜精度校正方法、装置和系统。

第一方面，本发明提供一种激光振镜精度校正方法，包括如下步骤：

根据预设的标准图形控制激光束经过激光振镜后在工件上雕刻生成多个标识点。

根据获取的包括所述标识点的图像确定包括所有所述标识点的标识图形。

比对所述标准图形和所述标识图形，根据比对结果确定校正参数。

根据所述校正参数更新激光振镜的校正文档。

第二方面，本发明提供一种激光振镜精度校正装置，包括：

生成模块，用于根据预设的标准图形控制激光束经过激光振镜后在工件上雕刻生成多个标识点。

第一处理模块，用于根据获取的包括所述标识点的图像确定包括所有所述标识点的标识图形。

第二处理模块，用于比对所述标准图形和所述标识图形，根据比对结果确定校正参数。

更新模块，用于根据所述校正参数更新激光振镜的校正文档。

第三方面，本发明提供一种激光振镜精度校正装置，包括存储器和处理器；所述存储器，用于存储计算机程序；所述处理器，用于当执行所述计算机程序时，实现如上所述的激光振镜精度校正方法。

第四方面，本发明提供一种激光振镜精度校正系统，包括激光振镜、用于获取包括标识点的图像的至少一个成像装置以及如上所述的激光振镜精度校正装置，所述激光振镜精度校正装置分别与所述激光振镜和至少一个所述成像装置电连接。