[发明专利]电镀装置及电镀方法有效

专利信息
申请号: 201811518586.5 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN111304720B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 白蓉生;黄荣山;彭昶铭 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: C25D17/02 分类号: C25D17/02;C25D17/12;C25D7/00;C25D5/08
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张琳
地址: 中国台湾桃园市*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 电镀 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种电镀装置,其特征在于,包含:

上槽体;

阴极,设于该上槽体;

第一阳极及第二阳极,设于该上槽体,且分别对应设该阴极的相对两侧;

下槽体,设于该上槽体之下;以及

隔板,设于该上槽体与该下槽体之间,该隔板具有至少一个第一排水孔及至少一个第二排水孔,使该上槽体与该下槽体相连通,其中该第一排水孔及该第二排水孔分别设于该阴极的相对两侧;

液体输送组件,设于该下槽体;

管体,该管体包含第一管部与第二管部,其中该第一管部与该液体输送组件相连接,该第二管部设于该上槽体的顶部;以及

待镀物,该待镀物具有多个通孔贯穿该待镀物,其中将该待镀物电性连接该阴极,其中该待镀物将该上槽体区隔为第一槽及第二槽,其中该第一排水孔设于该第一槽,该第二排水孔设于该第二槽,

其中该下槽体包含一隔挡件,该隔挡件将该下槽体分隔为第一下槽区与第二下槽区,该第一下槽区设于该第一排水孔下方,该第二下槽区设于该第二排水孔下方。

2.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该隔板包含控制组件,驱使该第一排水孔与该第二排水孔选择性地启闭。

3.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该阴极包含阴极第一部分及阴极第二部分,该阴极第一部分与该阴极第二部分设置上相对设置。

4.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该第一排水孔的数量为多个,且所述第一排水孔排成一列。

5.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该第二排水孔的数量为多个,且所述第二排水孔排成一列。

6.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该管体包含具有多排液孔的外管,所述排液孔穿设于该外管邻近该上槽体的顶部的区域。

7.如权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,其中所述排液孔的孔径大小从该外管相对该阴极的设置,朝向该外管相对该第一阳极与该第二阳极的设置渐增。

8.如权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,其中该管体更包含具有出孔的内管,设于该外管的内部,该出孔穿设于该内管邻近该上槽体的顶部的区域,该出孔与所述排液孔相连通。

9.如权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,其中该出孔大致对准该阴极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该阴极的设置,朝向该外管相对该第一阳极与该第二阳极的设置渐增。

10.如权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,其中

该出孔大致对准该第一阳极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该第一阳极的设置,朝向该外管相对该第二阳极的设置渐增;或

该出孔大致对准该第二阳极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该第二阳极的设置,朝向该外管相对该第一阳极的设置渐增。

11.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中

该液体输送组件包含第一泵与第二泵,其中该第一泵设于该第一排水孔的下方,该第二泵设于该第二排水孔的下方;以及

该管体更包含第三管部,其中该第一管部与该第一泵相连接,该第三管部与该第二泵相连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欣兴电子股份有限公司,未经欣兴电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811518586.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top