[发明专利]电镀装置及电镀方法有效
申请号: | 201811518586.5 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN111304720B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 白蓉生;黄荣山;彭昶铭 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/12;C25D7/00;C25D5/08 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张琳 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 装置 方法 | ||
1.一种电镀装置,其特征在于,包含:
上槽体;
阴极,设于该上槽体;
第一阳极及第二阳极,设于该上槽体,且分别对应设该阴极的相对两侧;
下槽体,设于该上槽体之下;以及
隔板,设于该上槽体与该下槽体之间,该隔板具有至少一个第一排水孔及至少一个第二排水孔,使该上槽体与该下槽体相连通,其中该第一排水孔及该第二排水孔分别设于该阴极的相对两侧;
液体输送组件,设于该下槽体;
管体,该管体包含第一管部与第二管部,其中该第一管部与该液体输送组件相连接,该第二管部设于该上槽体的顶部;以及
待镀物,该待镀物具有多个通孔贯穿该待镀物,其中将该待镀物电性连接该阴极,其中该待镀物将该上槽体区隔为第一槽及第二槽,其中该第一排水孔设于该第一槽,该第二排水孔设于该第二槽,
其中该下槽体包含一隔挡件,该隔挡件将该下槽体分隔为第一下槽区与第二下槽区,该第一下槽区设于该第一排水孔下方,该第二下槽区设于该第二排水孔下方。
2.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该隔板包含控制组件,驱使该第一排水孔与该第二排水孔选择性地启闭。
3.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该阴极包含阴极第一部分及阴极第二部分,该阴极第一部分与该阴极第二部分设置上相对设置。
4.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该第一排水孔的数量为多个,且所述第一排水孔排成一列。
5.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该第二排水孔的数量为多个,且所述第二排水孔排成一列。
6.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中该管体包含具有多排液孔的外管,所述排液孔穿设于该外管邻近该上槽体的顶部的区域。
7.如权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,其中所述排液孔的孔径大小从该外管相对该阴极的设置,朝向该外管相对该第一阳极与该第二阳极的设置渐增。
8.如权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,其中该管体更包含具有出孔的内管,设于该外管的内部,该出孔穿设于该内管邻近该上槽体的顶部的区域,该出孔与所述排液孔相连通。
9.如权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,其中该出孔大致对准该阴极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该阴极的设置,朝向该外管相对该第一阳极与该第二阳极的设置渐增。
10.如权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,其中
该出孔大致对准该第一阳极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该第一阳极的设置,朝向该外管相对该第二阳极的设置渐增;或
该出孔大致对准该第二阳极,所述排液孔的孔径大小从该外管相对该第二阳极的设置,朝向该外管相对该第一阳极的设置渐增。
11.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,其中
该液体输送组件包含第一泵与第二泵,其中该第一泵设于该第一排水孔的下方,该第二泵设于该第二排水孔的下方;以及
该管体更包含第三管部,其中该第一管部与该第一泵相连接,该第三管部与该第二泵相连接。
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