[发明专利]一种抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种抛光液，其特征在于，包括下列重量份的各组分：

氧化锆10-15份；

氧化铈10-15份；

硅溶胶50-60份；

表面活性剂十二烷基苯磺酸钠14-20份；

分散剂聚乙二醇5.4-7.2份；

稳定剂水性丙烯酸共聚树脂14-18份；

pH调节剂1-10份；

去离子水1000份。

2.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，包括下列重量份的各组分：

氧化锆13份；

氧化铈13份；

硅溶胶55份；

表面活性剂十二烷基苯磺酸钠18份；

分散剂聚乙二醇6.1份；

稳定剂水性丙烯酸共聚树脂16份；

pH调节剂5份；

去离子水1000份。

3.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，包括下列重量份的各组分：

氧化锆14份；

氧化铈12份；

硅溶胶58份；

表面活性剂十二烷基苯磺酸钠16份；

分散剂聚乙二醇5.8份；

稳定剂水性丙烯酸共聚树脂14.5份；

pH调节剂4份；

去离子水1000份。

4.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述抛光液的pH值为9-10。

5.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述硅溶胶是粒径为80-90nm的纯硅溶胶。

6.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为质量分数为5％的氢氧化钠和质量分数为5％盐酸溶液。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的抛光液，其特征在于，还包括1-10份pH调节剂助剂，pH调节剂助剂的组成为：2份乙二胺四乙酸二钠、5份丙基乙二胺和5份N,N,N^/,N^/-四羟乙基乙二胺。

8.根据权利要求7所述的抛光液，其特征在于，所述pH调节剂助剂为5份。

9.一种权利要求1-6任意一项所述的抛光液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将上述重量份的硅溶胶置于一半重量份的去离子水中，在搅拌速度为80-100rpm的搅拌条件下加入所述重量份的表面活性剂，分散2-4小时；

步骤2、在搅拌速度为80-100rpm的搅拌条件下将所述重量份的氧化锆和氧化铈加入步骤1所得的硅溶胶中，再加入另一半重量份的去离子水，分散2-4小时；

步骤3、向步骤2所得的溶液中依次加入所述重量份的分散剂、稳定剂，搅拌至均匀；

步骤4、向步骤3所得的溶液中加入pH调节剂，制备得到所述抛光液。

10.根据权利要求9所述的抛光液的制备方法，其特征在于，还包括步骤5：

按照2份乙二胺四乙酸二钠、5份丙基乙二胺和5份N,N,N^/,N^/-四羟乙基乙二胺的重量比称取上述三种物质后，均加入到球磨罐中，球磨反应6-7小时，得到pH调节剂助剂；将所述重量份的pH调节剂助剂加入到步骤4所得的抛光液中。