[发明专利]离子植入机及其工作方法

权利要求书

1.一种离子植入机，其特征在于，包括：

离子源，用于发射离子束；

基座，用于承装晶圆；

位于所述离子源和基座之间的第一挡板结构和第二挡板结构，所述第一挡板结构和第二挡板结构相互分立，所述第一挡板结构包括若干个第一挡板，所述第二挡板结构包括若干个第二挡板；

切换器，使一个第一挡板与一个第二挡板处于工作面，处于工作面的第一挡板与第二挡板之间构成开口结构，所述开口结构使离子束通过。

2.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，所述工作面与所述开口结构处的离子束传输方向之间具有大于0°且小于180°的夹角。

3.如权利要求2所述的离子植入机，其特征在于，各个所述第一挡板均具有第一中心面；各所述第一挡板包括相互平行的两个第一侧壁，所述两个第一侧壁分别位于所述第一中心面两侧，且所述两个第一侧壁平行于所述第一中心面，所述两个第一侧壁到所述第一中心面的距离相同；所述第一挡板还包括第二侧壁，所述第二侧壁的两端分别与两个第一侧壁的边缘连接；各个所述第二挡板均具有第二中心面；各个所述第二挡板包括相互平行的两个第三侧壁，所述两个第三侧壁分别位于第二中心面两侧，且所述两个第三侧壁平行于所述第二中心面，所述两个第三侧壁到所述第二中心面的距离相等；所述第二挡板还包括第四侧壁，所述第四侧壁的两端分别与两个第三侧壁的边缘连接；

当所述第一挡板与第二挡板处于工作面时，所述第一中心面与第二中心面共面，且所述第二侧壁朝向所述第四侧壁，所述第二侧壁和第四侧壁构成所述开口结构的侧壁。

4.如权利要求3所述的离子植入机，其特征在于，所述第一挡板结构还包括第一固定部，各个第一挡板的一端固定于第一固定部上，且所述第一固定部与第二侧壁相对设置；所述第二挡板结构还包括第二固定部，各个第二挡板的一端固定于第二固定部上，且所述第二固定部与第四侧壁相对设置。

5.如权利要求4所述的离子植入机，其特征在于，所述第一固定部具有第一轴向，若干所述第一挡板围绕所述第一轴向固定于所述第一固定部，所述第一轴向与所述开口结构处的离子束传输方向之间具有大于0°小于180°的夹角；所述第二固定部具有第二轴向，若干所述第二挡板围绕所述第二轴向固定于所述第二固定部，所述第二轴向与所述开口结构处的离子束传输方向之间具有大于0°且小于180°的夹角。

6.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，所述第一挡板的个数大于或等于2个；所述第二挡板的个数大于或等于2个。

7.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，还包括：位于所述离子源和第一挡板结构之间的第一偏置装置，用于筛分离子束；位于所述第一挡板结构和基座之间的第二偏转装置，用于使离子束平行射向基座。

8.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，所述切换器包括马达。

9.一种如权利要求1至权利要求8任一项所述离子植入机的工作方法，其特征在于，包括：

提供上述离子植入机；

提供晶圆；

将晶圆置于基座上；

利用切换器使一个第一挡板与一个第二挡板处于工作面，处于工作面的第一挡板和第二挡板之间构成所述开口结构；

当第一挡板和第二挡板构成开口结构之后，使离子源发射离子束，所述离子束经开口结构后射入晶圆，对晶圆进行离子植入。

10.如权利要求9所述的离子植入机的工作方法，其特征在于，每个所述第一挡板处于工作面的工作时间为：1.5个月～2个月；每个所述第二挡板处于工作面的工作时间为：1.5个月～2个月。