[发明专利]一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构

说明书

本发明提供一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构。所述喷淋式蚀刻设备新型过滤结构包括加工箱，所述加工箱的出口处安装有第一过滤板；第一液箱，所述第一液箱与所述加工箱的出口端相互连通，且所述第一液箱的出口端安装有第二滤板；第二液箱，所述第二液箱与所述第一液箱的出口端相互连通，且所述第二液箱的出口端的安装有第三滤板；压滤机，所压滤机与所述第二液箱的出口端相互连通；过滤机构，所述过滤机构与所述压滤机的出口端相互连通，且所述过滤机构用以对压滤机排出的水再次过滤。本发明提供的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，能够对使用后的药液进行四级过滤，满足高质量产品的生产需要。

技术领域

本发明涉及蚀刻设备技术领域，尤其涉及一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构。

背景技术

现有顶喷蚀刻设备，蚀刻药液是循环使用的，过滤药液杂质都是通过在线进行过滤，传统过滤线为：药液通过加工箱进行一级过滤，然后流通至第一液箱进行二级过滤、第二液箱进行三级过滤，再通过压滤机在线过滤，最终回流至加工箱的腔体内。

但是随着客户端的成本降低和良率需求越来越高，现有过滤方式已经不能满足客户端品质需求，杂质的过滤已经无法达标；很多厂家为解决顶喷蚀刻设备先天之不足，通过传统的研磨抛光提升产品表面制程良率，但是增加研磨制程后，客户端和减薄产同时出现其他品质问题和管理漏失，第一，客户端成本增加；第二，随着制程工艺的增加，减薄厂制程时间加长，产品破损也随着增加，客户端良率在整上不但没上升，反而因破损过高而有部分降低。

因此，有必要提供一种新的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构解决上述技术问题。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种过滤效果好、适用范围广的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构。

为解决上述技术问题，本发明提供的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构包括：加工箱，所述加工箱的出口处安装有第一过滤板；第一液箱，所述第一液箱与所述加工箱的出口端相互连通，且所述第一液箱的出口端安装有第二滤板；第二液箱，所述第二液箱与所述第一液箱的出口端相互连通，且所述第二液箱的出口端的安装有第三滤板；压滤机，所压滤机与所述第二液箱的出口端相互连通；过滤机构，所述过滤机构与所述压滤机的出口端相互连通，且所述过滤机构用以对压滤机排出的水再次过滤；所述过滤机构设有若干个，且每个所述过滤机构的出口均连通至所述加工箱的入口。

优选的，所述过滤机构包括罐体、进液机构、压力表、排液管、支腿以及滤筒，且所述进液机构与所述压滤机的出口连通；所述进液机构的出口连通至所述滤筒；所述滤筒安装于所述罐体的内部，且所述罐体的底部连通有所述排液管；所述罐体的底面分布有所述支腿，且所述罐体的顶面安装有所述压力表。

优选的，所述进液机构包括进液接头和导流管，且所述进液接头设于所述罐体的外壁；所述进液接头通过所述导流管连通至所述滤筒。

优选的，所述导流管为U型结构，且所述导流管的U型区域位于所述进液接头的底部。

优选的，所述滤筒包括上筒体、第四过滤板以及下筒体，且所述上筒体固定于所述罐体的内部；所述上筒体的顶部与所述导流管相互连通；所述上筒体的底部安装有所述下筒体，且所述上筒体的外壁开有安装孔；所述安装孔的内部嵌入有所述第四过滤板。

优选的，所述下筒体的为半球状，且所述下筒体螺纹连接所述上筒体；所述下筒体的底面开有通孔结构，且通孔直径为1mm-5mm。

优选的，所述安装孔呈环形阵列分布，且所述安装孔的截面为矩形；所述安装孔的内部卡合连接所述第四过滤板，且所述第四过滤板的目数为400目-1000目。

与相关技术相比较，本发明提供的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构具有如下

有益效果：