[发明专利]一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构

权利要求书

1.一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，包括：

加工箱，所述加工箱的出口处安装有第一过滤板；

第一液箱，所述第一液箱与所述加工箱的出口端相互连通，且所述第一液箱的出口端安装有第二滤板；

第二液箱，所述第二液箱与所述第一液箱的出口端相互连通，且所述第二液箱的出口端的安装有第三滤板；

压滤机，所压滤机与所述第二液箱的出口端相互连通；

过滤机构，所述过滤机构与所述压滤机的出口端相互连通，且所述过滤机构用以对压滤机排出的水再次过滤；所述过滤机构设有若干个，且每个所述过滤机构的出口均连通至所述加工箱的入口。

2.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述过滤机构包括罐体、进液机构、压力表、排液管、支腿以及滤筒，且所述进液机构与所述压滤机的出口连通；所述进液机构的出口连通至所述滤筒；所述滤筒安装于所述罐体的内部，且所述罐体的底部连通有所述排液管；所述罐体的底面分布有所述支腿，且所述罐体的顶面安装有所述压力表。

3.根据权利要求2所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述进液机构包括进液接头和导流管，且所述进液接头设于所述罐体的外壁；所述进液接头通过所述导流管连通至所述滤筒。

4.根据权利要求3所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述导流管为U型结构，且所述导流管的U型区域位于所述进液接头的底部。

5.根据权利要求3所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述滤筒包括上筒体、第四过滤板以及下筒体，且所述上筒体固定于所述罐体的内部；所述上筒体的顶部与所述导流管相互连通；所述上筒体的底部安装有所述下筒体，且所述上筒体的外壁开有安装孔；所述安装孔的内部嵌入有所述第四过滤板。

6.根据权利要求5所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述下筒体的为半球状，且所述下筒体可拆卸密封连接所述上筒体；所述下筒体的底面开有通孔结构，且通孔直径为1mm-5mm。

7.根据权利要求5所述的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，所述安装孔呈环形阵列分布，且所述安装孔的截面为矩形；所述安装孔的内部可拆卸密封连接所述第四过滤板，且所述第四过滤板的目数为400目-1000目。