[发明专利]压电陶瓷装置及其形成方法有效
申请号: | 201811478469.0 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN109599483B | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 李韦坤 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/053 | 分类号: | H01L41/053;H01L41/113;H01L41/23 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 陶瓷 装置 及其 形成 方法 | ||
1.一种压电陶瓷装置,其特征在于,包含:
一上电极层;
一下电极层;
一压电陶瓷材料层,夹设于该上电极层与该下电极层之间;
一三防胶层,设置于该压电陶瓷材料层的左右两侧,该三防胶层于剖视方向上呈现的形状为三角形;以及
一感压胶层,覆盖该上电极层与该三防胶层。
2.如权利要求1所述之压电陶瓷装置,其特征在于,更包含:
一软性印刷电路板;
其中,该下电极层透过一导电胶接合至该软性印刷电路板上。
3.如权利要求2所述之压电陶瓷装置,其特征在于,其中该三防胶层设置于该软性印刷电路板上,其中该感压胶层覆盖该软性印刷电路板。
4.如权利要求1所述之压电陶瓷装置,其特征在于,其中该三防胶层的杨氏模数系大于1GPa。
5.如权利要求1所述之压电陶瓷装置,其特征在于,其中该三防胶层于截面呈现的形状为一三角形,以使该感压胶层的复数个转折角度皆大于100度。
6.一种压电陶瓷装置的形成方法,其特征在于,包含:
提供一压电陶瓷材料层夹设于一上电极层与一下电极层之间;
进行一点胶制程,以使一三防胶层设置于该压电陶瓷材料层的左右两侧,该三防胶层于剖视方向上呈现的形状为三角形;以及
进行一封胶制程,以使一感压胶层覆盖该上电极层与该三防胶层。
7.如权利要求6所述之压电陶瓷装置的形成方法,其特征在于,更包含:
于进行该点胶制程之前,透过一喷涂制程以使一异向性导电胶分布于一软性印刷电路板上;以及
进行一接合制程,以使该下电极层透过该异向性导电胶接合至该软性印刷电路板上。
8.如权利要求7所述之压电陶瓷装置的形成方法,其特征在于,其中该三防胶层设置于该软性印刷电路板上,其中该感压胶层覆盖该软性印刷电路板。
9.如权利要求6所述之压电陶瓷装置的形成方法,其特征在于,其中该三防胶层的杨氏模数系大于1GPa。
10.如权利要求6所述之压电陶瓷装置的形成方法,其特征在于,其中该三防胶层于截面呈现的形状为一三角形,以使该感压胶层的复数个转折角度皆大于100度。
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