[发明专利]一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺

权利要求书

1.一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1、初反应：将硅片放入HNO3和HF的混酸溶液中进行腐蚀，腐蚀时间在240s时，将硅片从混酸溶液中取出，再对酸腐蚀后的硅片进行水洗，干燥处理；

S2、预清洗：对硅片表面进行预清洗，然后对预清洗后的硅片进行水洗，干燥处理；

S3、制绒：将预清洗后的硅片经过盛有纯水的水槽清洗时间为240s后，置于盛有制绒液的制绒槽内，在该制绒液中氢氧化钠的质量百分比浓度为1.0％—1.5％，无醇添加剂的体积百分比浓度为0.2％—1.4％，然后对制绒后的硅片进行水洗，干燥处理；

S4、后清洗：对制绒后的硅片进行清洗，然后对后清洗的硅片进行水洗，干燥处理；

S5、酸洗：将得到的硅片再经过酸洗，具体是第一步用体积百分比浓度为10.5％～10.9％的HF酸清洗，时间240s，第二步用纯水清洗，时间为180s，第三步用体积百分比浓度为10.5％～10.9％的盐酸清洗，时间为180s，第四步用体积百分比浓度为10.5％～10.9％的盐酸清洗，时间为120ss，然后用水清洗干净，最后进行干燥，进入下一流程。

2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述预清洗是用质量百分比浓度为0.18％～0.22％的氢氧化钠和体积百分比浓度为2-5％的双氧水混合溶液清洗硅片表面，对硅片表面进行预处理240s，处理完的硅片再次使用质量百分比浓度为0.15％～0.25％的氢氧化钠溶液处理240s。

3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述制绒的过程中对于156*156单晶硅片，补加用量为：固体氢氧化钠180g/200片，无醇添加剂80mL/200片；对于125*125单晶硅片，补加用量为固体氢氧化钠150g/200片，无醇添加剂60mL/200片。

4.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述后清洗的过程中是将制绒后的硅片依次经过快排槽、水槽清洗时间为240s、体积百分比浓度为10.7％的HF酸槽清洗时间为240s，最后清水240s，从而充分清洗硅片。

5.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述制绒过程中，制绒深度设置为2.8微米，制绒时间为1020s～1080s，制绒温度为80℃～85℃。

6.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述HNO3和HF混酸溶液中HNO3与HF的体积比在3：1～5：1之间。

7.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述硅片为多晶硅片、单晶硅片和准单晶硅片中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺，其特征在于：所述干燥的温度为90～120℃，干燥时间为500～550s。