[发明专利]纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件

说明书

一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件，该方法包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。

技术领域

本发明涉及机械领域，尤其是一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及纳米压印组件。

背景技术

纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术，其能够把纳米图形从模板“复制”到基片上，具有产量高、成本低和工艺简单的优点。

为实现一些特殊形状的压印，需要提供一种具有纳米结构的弹性模板。在现有技术中，为了制作纳米压印弹性模板，一般是提供一具有纳米压印结构的母板，继而将纳米压印胶均匀地涂覆到沉积了抗粘层的母板上，然后再在纳米压印胶层远离母板的一侧涂覆形成有一弹性支撑层，在弹性支撑层固化后，将弹性支撑层与母板分开。由于纳米压印胶与弹性支撑层之间的粘合力与纳米压印胶与母板之间的粘合力不同，因此，即可将纳米压印胶与弹性支撑层一同与母板脱离，从而使母板上的纳米压印结构反向复制到纳米压印胶层中。

然而，由于母板上存在有纳米压印结构，这使得母板的表面积大大增加，并且纳米压印胶与母板之间的接触面积也会远大于纳米压印胶与弹性支撑层之间的接触面积，在将弹性支撑层与母板分离后，母板上会残留纳米压印胶，这破坏了母板上纳米压印结构的完整性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及纳米压印组件，该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。

本发明提供一种纳米压印弹性模板的制作方法，包括如下步骤：

提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；

提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；

将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；

将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；

将基板与母板分离；

将基片与弹性支撑层分离。

进一步地，在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏剂层。

进一步地，所述抗黏剂层由全氟辛基三氯硅烷和/或全氟癸基三氯硅烷形成。

进一步地，所述基片由硅片、玻璃、石英片或聚四氟乙烯形成。

进一步地，在将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中纳米压印结构所在的一侧接触，并将所述纳米压印结构印制于所述纳米压印胶层上的步骤中，其还包括如下步骤：

将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中第一纳米压印结构所在的一侧接触，以形成纳米压印组件；

将所述纳米压印组件放置于密封工作室内；

提供柔性覆盖膜，将所述柔性覆盖膜盖设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使所述柔性覆盖膜与所述密封工作室的底板之间形成一容置纳米压印组件的容置腔；

降低所述密封工作室内的气压，使所述容置腔内的气压小于初始状态密封工作室内的气压；

增加所述密封工作室内的气压，使所述密封工作室内的气压大于所述容置腔内的气压；

使所述纳米压印胶层固化。