[发明专利]基于两步可控制备过渡金属硫化物异质结的方法有效
| 申请号： | 201811473215.X | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109767920B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 王育乔;刘亚娟;刘美婷;张春耀;孙岳明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01G9/20 | 分类号： | H01G9/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 可控 制备 过渡 金属 硫化物 异质结 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于两步可控制备过渡金属硫化物异质结的方法，其特征在于，该方法具体包括：
a.将预处理的导电玻璃基底和金属氧化物靶材分别放在脉冲激光沉积设备腔体内的基片台和靶位上，先后在基底上沉积两种不同的金属氧化物薄膜，两种氧化物薄膜厚度范围均为150~200 nm；
b.将沉积有两种金属氧化物薄膜的导电玻璃基底置于管式炉中，采用化学气相沉积法进行硫化，即得到过渡金属硫化物异质结；
所述金属氧化物靶材为MOX，其中M为过渡金属Mo，W，x =3。
2.根据权利要求1所述的 基于两步可控制备过渡金属硫化物异质结的方法，其特征在于，所述的导电玻璃基底为FTO，即掺杂氟的SnO2导电玻璃。
3.根据权利要求1所述的基于两步可控制备过渡金属硫化物异质结的方法，其特征在于，所述沉积时的压强为5 Pa，激光能量为450 mJ，激光脉冲次数为1000~2000。
4.根据权利要求1所述的基于两步可控制备过渡金属硫化物异质结的方法，其特征在于，所述硫化时的反应温度为500~550℃。
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