[发明专利]一种高效的石英环制备方法

权利要求书

1.一种高效的石英环制备方法，其特征是包括以下步骤：

1）车床切割下料：在车床上安装多刀切割装置，将圆柱状石英筒通过一次切割切成多个毛坯环；该毛坯环的厚度比所需制备的石英环的厚度大2-5mm；

2）铣磨双面：使用铣磨机批量化的对毛坯环的两面进行铣磨；

3）滚内外圆：在磨床上安装长卡夹，使其能够同时固定多个毛坯环，并通过长磨头对该多个毛坯环同时进行磨圆加工；

4）倒角：对所述的毛坯环的上下两面与侧面的交界处进行倒角，使该倒角大小为R0.2-0.5mm；

5）打砂：使用砂盘对所述毛坯环的上下两表面进行打砂，使毛坯环的厚度达到所需石英环的厚度；

6）清洗：对所述毛坯环进行清洗，得到成品石英环。

2.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述石英筒外径比所需制备的石英环外径大2-6mm，其内径比所需制备的石英环内径小2-6mm。

3.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述多刀切割装置包括长卡夹和多组金刚砂轮片，所述长卡夹安装在车床卡盘上，以便夹住所述石英筒；所述多组金刚砂轮片安装在车床另一端的刀具轴上，使一次进刀能够同时切割出多个毛坯环；所述金刚砂轮片直径为180-250mm，目数为100-150目，其转速为不小于2800r/min，进给速度不大于0.04-0.06mm/min。

4.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述步骤2）中采用的铣磨液为铣磨原液与水按重量比1:20～1:10组成的混合物，主轴进给速度8～12mm/min，磨头研磨到加工尺寸后需要光刀的时间为1min。

5.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述步骤3）中，所用磨头为120-180目的金刚砂，磨头的进给速度不大于0.03mm/min，将所述毛坯环内外径磨削至所需制备的石英环尺寸。

6.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述步骤4）中所用倒角机砂轮为150-400目的电镀金刚石砂轮。

7.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述步骤5）中的研磨料目数为300-600目，其材质为碳化硅、碳化硼、天然金刚砂或金刚石中的任一种。

8.根据权利要求1所述的高效的石英环制备方法，其特征是所述步骤6）中使用浓度为3-8%氢氟酸作为清洗液。