[发明专利]用于Veeco K465i的清洁平台及其清洁方法

说明书

本发明提供一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于清洁Veeco K465i设备的尾气管路部件，包含至少两个相同的碱洗槽，用于浸泡尾气管路部件；至少两个相同的纯水水洗槽，用于冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，用于超声波冲洗尾气管路部件；本发明还提供一种利用所述平台对Veeco K465i的尾气管路进行清洁的方法，包含将对管路部件的拆解、除尘、置于KOH溶液浸泡、使用纯水冲洗、使用纯水超声波清洁、使用氮气吹扫、置于无氧化烤箱烘烤、部件组装等步骤。本发明的清洁平台结构简单，本发明的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对Veeco K465i设备的维护成本。

技术领域

本发明涉及一种对设备的清洁方法，具体涉及一种针对Veeco K465i设备尾气管路的清洁方法。

背景技术

MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition金属有机化学气相沉积)设备是LED芯片生产过程中最为关键的设备，可用于用于生产高亮度发光二极管(HB LED)。美国Veeco公司的Veeco K465i设备是集“液压、电气、自动控制与一体”的MOCVD精密设备，在市场上占有较大份额。该类设备国内生产技术和国外还有不小差距，尽管单台费用至少上千万，多数企业处於成本和利益考虑，还是购买国外产品。目前Veeco K465i机台，在运行过程中，会有未反应完全的NH3、TMGa、TEGa、TMIn、Cp2Mg、TMAl进入尾气管路，这些气体会有一部分附着在其尾气管路内壁上，随着时间积累，附着物越积越厚，使尾气管路的内径变窄，从而影响到反应室的抽速。目前Veeco K465i设备在做PM(预防性PreventiveMaintenance)维护的时候，只对尾气管路使用清扫真空进行清洁，无法达到最佳清洁效果。请生产厂商进行专业维护的费用高，增加了企业成本。

发明内容

本发明提供了一种针对Veeco K465i设备尾气管路的清洁平台及其清洁方法，解决尾气管路内径变窄的问题，从而恢复机台反应室的正常抽速。

为了达到上述目的，本发明提供了一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于除去附着在Veeco K465i设备尾气管路内壁的灰尘，包含一体化设置的：

至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；

至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；

纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。

所述至少两个相同的碱洗槽相邻设置在所诉平台第一端，所述纯水超声波清洗装置设置在所述清洁平台的另一端，所述至少两个相同的纯水水洗槽相邻的设置在碱洗槽和纯水超声波清洁装置之间。

一种用于Veeco K465i的清洁方法，用于除去附着在Veeco K465i设备尾气管路内壁的灰尘，包含步骤：

S1、将尾气管路拆解；

S2、使用真空清扫设备，吸除拆解的尾气管路部件附着的灰尘；

S3、在碱洗槽中注入一定比例的KOH溶液，然后使用不锈钢棒搅拌均匀；拆解的尾气管路的部件置于混合好的KOH溶液的碱洗槽中浸泡，要求KOH溶液液面要完全没过拆解的尾气管路的部件；

S4、将浸泡好的尾气管路部件从KOH溶液的碱洗槽中取出，放置纯水清洗槽内，使用纯水反复冲洗；

S5、将冲洗好的的尾气管路部件从纯水清洗槽中取出，放置于纯水超声波清洗槽中清洁；

S6、取出在纯水超声波清洗槽中的尾气管路部件，使用氮气吹扫干净；

S7、将吹干的尾气管路部件置于无氧化烤箱烘烤；