[发明专利]用于Veeco K465i的清洁平台及其清洁方法

权利要求书

1.一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于除去附着在Veeco K465i设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含一体化设置的：

至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；

至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；

纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。

2.如权利要求1所述的用于Veeco K465i的清洁平台，其特征在于，所述至少两个相同的碱洗槽相邻设置在所述平台第一端，所述纯水超声波清洗装置设置在所述清洁平台的另一端，所述至少两个相同的纯水水洗槽相邻的设置在碱洗槽和纯水超声波清洁装置之间。

3.一种用于Veeco K465i的清洁方法，采用如权利要求1-2中任一项所述的清洁平台除去附着在MOCVD设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含步骤：

S1、将尾气管路拆解；

S2、使用真空清扫设备，吸除拆解的尾气管路部件附着的灰尘；

S3、在碱洗槽中注入一定比例的KOH溶液，然后使用不锈钢棒搅拌均匀；拆解的尾气管路的部件置于混合好的KOH溶液的碱洗槽中浸泡，要求KOH溶液液面要完全没过拆解的尾气管路的部件；

S4、将浸泡好的尾气管路部件从KOH溶液的碱洗槽中取出，放置纯水清洗槽内，使用纯水反复冲洗；

S5、将冲洗好的的尾气管路部件从纯水清洗槽中取出，放置于纯水超声波清洗槽中清洁；

S6、取出在纯水超声波清洗槽中的尾气管路部件，使用氮气吹扫干净；

S7、将吹干的尾气管路部件置于无氧化烤箱烘烤；

S8、将烘烤完毕的尾气管路部件组装起来还原。

4.如权利要求3所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S3所述的KOH溶液通过在30L纯水中加入300g的KOH配制而成。

5.如权利要求3所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S4所述的尾气管路部件在KOH溶液中的浸泡时间为4小时。

6.如权利要求3所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S5所述的使用纯水冲洗尾气管路部件的时间为10分钟。

7.如权利要求3所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S6所述的尾气管路部件在纯水超声波清洗槽中的清洁时间为6小时。

8.如权利要求3所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的温度为100℃。

9.如权利要求8所述的用于Veeco K465i的清洁方法，其特征在于，步骤S8所述的无氧化烤箱烘烤的时间为72小时。