[发明专利]一种真空密封阀门漏率测试系统及方法

说明书

本发明一种真空密封阀门漏率测试系统及方法，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门、检漏仪通过第二真空阀门分别连接真空腔室；真空腔室分别与真空规、第三第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及其另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。本发明实现了真空阀门局部漏率和全漏率的定量测试，大大提高真空密封阀门漏率测量不确定度。

技术领域

本发明属于真空测试技术领域，涉及一种真空密封阀门漏率测试系统及方法。

背景技术

真空阀门是在真空系统中用来隔离(切断)气流、调节气流流量、分配气流的真空元件，不论在简单或复杂的真空系统中都占有重要的地位，其漏率的大小往往成为一个真空系统达到一定真空度的短板。

然而当前对于真空阀门漏率的测试，虽然中国发展和改革委员会发布了中国机械行业真空阀门标准JB/T6446-2004，但是仅给出了喷吹法和氦罩法，并未对具体测试系统做出阐述，所以各个厂家都有自己的出厂检验系统，各个省市质量监督中心也有自己的评价系统及方法，而且多数都只是简单配置了一台检漏仪进行漏率测试，存在测量不确定度较大，存在不同厂家生产的同种类型真空阀门测试系统不一样得到的测试结果不一致的情况。

发明内容

发明所要解决的课题是，解决当前真空密封阀门漏率测试结构复杂、且真空密封阀门漏率测量不确定度较大导致测试结果不准确的问题。

用于解决课题的技术手段是，本发明提出一种真空密封阀门漏率测试系统及方法，根据需求增加相应的标准漏孔进行漏率的比对得到被测真空密封阀门漏率值，大大提高了真空密封阀门漏率测试的测量不确定度。

本发明提出的一种真空密封阀门漏率测试系统，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门与真空腔室连接，且检漏仪通过第二真空阀门与真空腔室连接；所述真空腔室分别与真空规、第三真空阀门的一端、第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及被测真空阀门的另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；以及，所述气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通过第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。

进一步地，作为本发明的一种优选技术方案：所述真空规包括一个薄膜真空规和一个电离真空规。

本发明提出的一种基于真空密封阀门漏率测试系统的测试方法，包括以下步骤：

步骤1：将关闭的被测真空阀门安装到真空阀门测试罩内，并将被测真空阀门连接第三真空阀门另一端或连接至第四真空阀门；

步骤2：打开第三真空阀门，且关闭第二和第五真空阀门；

步骤3：打开第一真空阀门，通过第一真空泵组对真空腔室抽真空到设定真空度，并通过真空规得到真空阀门漏率测试真空度值；

步骤4：打开第七真空阀门，将真空阀门测试罩通过第二真空泵组抽真空到设定真空度，以对真空阀门测试罩进行清洗；

步骤5：将第三真空阀门关闭，打开第二真空阀门且记录此时检漏仪上的本底示值I₀；

步骤6：打开第五真空阀门，记录标准漏孔示值Q_s，且记录检漏仪上的示值I_s；

步骤7：关闭第五真空阀门；