[发明专利]一种真空密封阀门漏率测试系统及方法

权利要求书

1.一种真空密封阀门漏率测试系统，其特征在于，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门与真空腔室连接，且检漏仪通过第二真空阀门与真空腔室连接；所述真空腔室分别与真空规、第三真空阀门的一端、第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及被测真空阀门的另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；以及，所述气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通过第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。

2.根据权利要求1所述基于所述真空密封阀门漏率测试系统的测试方法，其特征在于，所述真空规包括一个薄膜真空规和一个电离真空规。

3.一种基于权利要求1所述真空密封阀门漏率测试系统的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将关闭的被测真空阀门安装到真空阀门测试罩内，并将被测真空阀门连接第三真空阀门另一端或连接至第四真空阀门；

步骤2：打开第三真空阀门，且关闭第二和第五真空阀门；

步骤3：打开第一真空阀门，通过第一真空泵组对真空腔室抽真空到设定真空度，并通过真空规得到真空阀门漏率测试真空度值；

步骤4：打开第七真空阀门，将真空阀门测试罩通过第二真空泵组抽真空到设定真空度，以对真空阀门测试罩进行清洗；

步骤5：将第三真空阀门关闭，打开第二真空阀门且记录此时检漏仪上的本底示值I₀；

步骤6：打开第五真空阀门，记录标准漏孔示值Q_s，且记录检漏仪上的示值I_s；

步骤7：关闭第五真空阀门；

步骤8：打开第六真空阀门，通过气源向真空阀门测试罩中充入定量气体，通过压力计得到真空阀门测试罩内气体压力并记录压力计的数值；

步骤9：打开第三真空阀门，记录检漏仪的示值I_L；

步骤10：根据所得检漏仪的本底示值I₀和示值I_s、示值I_L，及标准漏孔示值Q_s计算被测真空阀门全漏率Q_L。

4.根据权利要求3所述基于所述真空密封阀门漏率测试系统的测试方法，其特征在于，所述步骤10中计算被测真空阀门漏率Q_L采用公式：