[发明专利]显示面板的制备方法及显示面板有效

专利信息
申请号: 201811437465.8 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN109560196B 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 沐俊应 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 制备 方法
【说明书】:

发明提供一种显示面板的制备方法及显示面板。本发明的优点在于,避免了因蒸镀角度造成的像素边缘较大的阴影区,另外还能避免镀膜过程中精细金属掩膜版温度升高造成的PPA变化,能够应用于高解析度显示面板的制造。

技术领域

本发明涉及显示装置领域,尤其涉及一种显示面板的制备方法及显示面板。

背景技术

OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术,具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及,发展势头强劲。

当前投入商业化的OLED显示器件主要有RGB三色OLED显示器件和白光OLED搭配彩膜(CF)的显示器件。

其中,RGB三色OLED显示器件当前广泛应用于移动显示设备。目前比较普遍的制作OLED的方法是真空蒸镀的方法。有机发光(EL)材料在坩埚中受热,由固态变成气态,然后通过精细金属掩膜版(Fine Metal Mask,FMM)的开孔,沉积在薄膜晶体管阵列(TFT Array)基板上对应的像素定义层(PDL,Pixel Definition Layer)的开口中。传统的精细金属掩膜版主要使用因瓦合金(Invar)材料,经过双面光刻、蚀刻工艺制造而成。通过张网机(masktension)将精细金属掩膜版与掩膜版支撑架(Mask Frame)对位并激光焊接在掩膜版支撑架上。图1A是精细金属掩膜版焊接在掩膜版支撑架上的示意图,请参阅图1A,精细金属掩膜版10焊接在掩膜版支撑架11上。

精细金属掩膜版技术是显示器件解析度的决定因素。图1B是精细金属掩膜版10的俯视示意图,图1C沿图1B的A-A线的截面示意图,请参阅图1B及图1C,所述精细金属掩膜版10具有多个开口12,在所述开口12对应的基板位置,有机材料沉积形成子像素。图1D是采用精细金属掩膜版蒸镀子像素的示意图,图1E是图1D中C区域的放大示意图,请参阅图1D及图1E,蒸发源13蒸发出的有机材料通过所述开口12沉积在基板14上,从而在所述基板14上形成子像素(Sub-pixel)15,其中有机材料蒸镀区域采用虚线绘示。其缺点在于,在蒸镀镀膜过程中,受所述开口12的形状及厚度等参数的影响,在子像素15的两边缘会产生阴影区(Shadow area)A,其中,所述阴影区A包括位于所述开口12边缘左侧的外阴影区A1及位于所述开口12边缘右侧的内阴影区A2。在阴影区A内,所述子像素的厚度不均匀,呈梯度递减。通常情况下,所述阴影区A的宽度达到5微米以上,为了避免阴影区A对显示器件的显示效果的影响,必须增大子像素15的宽度,这限制了更高解析度显示器件的制造。传统FMM解析度一般难以超过250ppi,随着对显示器件解析度需求的日益提升(如300ppi以上),现有采用精细金属掩膜版进行真空蒸镀的技术已经难以满足需求,且蒸镀镀膜过程中精细金属掩膜版温度升高(例如5℃或以上),同时精细金属掩膜版需要周期性清洗、重新张网等,易发生PPA精度变化、增加了量产维护成本。因此,需要发展新的显示面板的制备方法。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是,提供一种显示面板的制备方法及显示面板,其能够应用于高解析度显示面板的制造。

为了解决上述问题,本发明提供了一种显示面板的制备方法,包括如下步骤:提供一基板,所述基板具有一第一表面及一第二表面,所述第一表面与所述第二表面相对设置,在所述第一表面上具有交替设置的多个沉积区及多个非沉积区;提供一光源,所述光源照射所述第二表面,并进一步从所述第二表面照射在所述非沉积区;以及一蒸发源产生一有机材料蒸汽,所述有机材料蒸汽与所述第一表面接触,所述有机材料蒸汽在所述沉积区形成一有机材料块,在所述非沉积区,所述有机材料蒸汽未形成一有机材料块。

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