[发明专利]显示面板的制备方法及显示面板有效
| 申请号: | 201811437465.8 | 申请日: | 2018-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN109560196B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
| 发明(设计)人: | 沐俊应 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示 面板 制备 方法 | ||
本发明提供一种显示面板的制备方法及显示面板。本发明的优点在于,避免了因蒸镀角度造成的像素边缘较大的阴影区,另外还能避免镀膜过程中精细金属掩膜版温度升高造成的PPA变化,能够应用于高解析度显示面板的制造。
技术领域
本发明涉及显示装置领域,尤其涉及一种显示面板的制备方法及显示面板。
背景技术
OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术,具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及,发展势头强劲。
当前投入商业化的OLED显示器件主要有RGB三色OLED显示器件和白光OLED搭配彩膜(CF)的显示器件。
其中,RGB三色OLED显示器件当前广泛应用于移动显示设备。目前比较普遍的制作OLED的方法是真空蒸镀的方法。有机发光(EL)材料在坩埚中受热,由固态变成气态,然后通过精细金属掩膜版(Fine Metal Mask,FMM)的开孔,沉积在薄膜晶体管阵列(TFT Array)基板上对应的像素定义层(PDL,Pixel Definition Layer)的开口中。传统的精细金属掩膜版主要使用因瓦合金(Invar)材料,经过双面光刻、蚀刻工艺制造而成。通过张网机(masktension)将精细金属掩膜版与掩膜版支撑架(Mask Frame)对位并激光焊接在掩膜版支撑架上。图1A是精细金属掩膜版焊接在掩膜版支撑架上的示意图,请参阅图1A,精细金属掩膜版10焊接在掩膜版支撑架11上。
精细金属掩膜版技术是显示器件解析度的决定因素。图1B是精细金属掩膜版10的俯视示意图,图1C沿图1B的A-A线的截面示意图,请参阅图1B及图1C,所述精细金属掩膜版10具有多个开口12,在所述开口12对应的基板位置,有机材料沉积形成子像素。图1D是采用精细金属掩膜版蒸镀子像素的示意图,图1E是图1D中C区域的放大示意图,请参阅图1D及图1E,蒸发源13蒸发出的有机材料通过所述开口12沉积在基板14上,从而在所述基板14上形成子像素(Sub-pixel)15,其中有机材料蒸镀区域采用虚线绘示。其缺点在于,在蒸镀镀膜过程中,受所述开口12的形状及厚度等参数的影响,在子像素15的两边缘会产生阴影区(Shadow area)A,其中,所述阴影区A包括位于所述开口12边缘左侧的外阴影区A1及位于所述开口12边缘右侧的内阴影区A2。在阴影区A内,所述子像素的厚度不均匀,呈梯度递减。通常情况下,所述阴影区A的宽度达到5微米以上,为了避免阴影区A对显示器件的显示效果的影响,必须增大子像素15的宽度,这限制了更高解析度显示器件的制造。传统FMM解析度一般难以超过250ppi,随着对显示器件解析度需求的日益提升(如300ppi以上),现有采用精细金属掩膜版进行真空蒸镀的技术已经难以满足需求,且蒸镀镀膜过程中精细金属掩膜版温度升高(例如5℃或以上),同时精细金属掩膜版需要周期性清洗、重新张网等,易发生PPA精度变化、增加了量产维护成本。因此,需要发展新的显示面板的制备方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种显示面板的制备方法及显示面板,其能够应用于高解析度显示面板的制造。
为了解决上述问题,本发明提供了一种显示面板的制备方法,包括如下步骤:提供一基板,所述基板具有一第一表面及一第二表面,所述第一表面与所述第二表面相对设置,在所述第一表面上具有交替设置的多个沉积区及多个非沉积区;提供一光源,所述光源照射所述第二表面,并进一步从所述第二表面照射在所述非沉积区;以及一蒸发源产生一有机材料蒸汽,所述有机材料蒸汽与所述第一表面接触,所述有机材料蒸汽在所述沉积区形成一有机材料块,在所述非沉积区,所述有机材料蒸汽未形成一有机材料块。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司,未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811437465.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





