[发明专利]移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备

权利要求书

1.一种移动手臂，其特征在于，包括：手臂主体、包覆手臂主体的外壳以及位于外壳表面的液体收纳装置，所述液体收纳装置用于收纳积累在外壳上的液滴，并将收纳的液滴排到下排管中。

2.如权利要求1所述的移动手臂，其特征在于，所述液体收纳装置包括位于外壳顶部表面的收纳腔和与收纳腔连接的排液部，所述收纳腔用于收纳积累在外壳上的液滴，所述排液部用于将收纳腔中收纳的液滴排到下排管中。

3.如权利要求2所述的移动手臂，其特征在于，所述收纳腔包括底板和位于底板上的环形的侧板，所述底板和侧板之间构成的空间用于容纳液滴。

4.如权利要求3所述的移动手臂，其特征在于，所述底板上方还设置有盖板，盖板上具有若干孔洞，所述盖板两端与侧板接触，且盖板的表面低于侧板的顶部表面。

5.如权利要求3所述的移动手臂，其特征在于，所述底板具有倾斜的表面，且所述倾斜表面向排液部的方向倾斜。

6.如权利要求3所述的移动手臂，其特征在于，所述排液部包括排液管道和负压产生器，所述排液管道一端与收纳腔连接，所述排液管道另一端与负压产生器的出口端连接，负压产生器产生负压时，排液管道中也产生负压，将收纳腔中积累的液滴中抽出通过排液管道和出口端排到下排管中。

7.如权利要求6所述的移动手臂，其特征在于，所述负压产生器包括连通的入口端和出口端，入口端连接压缩空气供入端，出口端分别与排液管道和下排管连接，压缩空气从空气供入端供入后，从入口端流入从出口端流出时会对排液管道产生一个负压。

8.如权利要求3所述的移动手臂，其特征在于，所述移动手臂的移动包括垂直移动、水平移动和转动中的一种或几种。

9.一种化学机械研磨修整器，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的移动手臂。

10.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的化学机械研磨修整器。