[发明专利]蒸镀用掩模板组有效
申请号: | 201811430739.0 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN109306450B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 林治明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀用掩 模板 | ||
一种蒸镀用掩模板组,包括至少两个配套的掩模板,所述掩模板包括掩模板本体和开口区,所述开口区内设置有遮挡部、至少一连接件、以及蒸镀区;所述连接件连接所述掩模板本体与所述遮挡部;所述掩模板组中的一个掩模板的连接件的尺寸与其他掩模板的蒸镀区的尺寸相同且重叠,至少两个所述掩模板的蒸镀区相互配合。通过提供配套的掩模板分步完成蒸镀工艺,实现屏幕的特定区域不蒸镀材料,进而实现将摄像头内置到屏幕中,从而有利于实现全面屏。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种蒸镀用掩模板组。
背景技术
目前,OLED器件生产工艺中的蒸镀工艺部分,主要用掩模板作为遮罩模具,将材料蒸镀到设定的位置上,进而完成红、蓝、绿像素的蒸镀。
随着电子技术的快速发展,显示屏的屏幕做得越来越大,为了带给用户较佳的视觉体验,全面屏成为智能电子终端发展的趋势。智显示屏正面除了显示屏幕之外,还有前置摄像头,听筒等部件,而前置摄像头、听筒占据了智能终端正面的较大面积,从而缩减了显示屏正面的显示面积。
目前,屏幕是利用凹槽的方式实现摄像头的放置,为了配合全面屏的需要,将手机正面的摄像头内置到屏幕内部是发展趋势,因此需要在掩模板的开口区内相应的区域设置遮挡区域,从而避免该区域蒸镀上材料,但是,若单独设置遮挡区域,无法固定到掩模板本体上,若将遮挡区域连接到本体上,其他被遮挡的开口区域无法蒸镀到材料,也会导致显示屏异常,所以目前的单次蒸镀工艺和掩模板无法满足将摄像头内置到屏幕的需求。
发明内容
本发明提供一种蒸镀用掩模板组,以解决现有的掩模板,由于在开口区内的相应区域单独设置的遮挡区,无法固定到掩模板本体上,难以实现OLED的蒸镀工艺,无法满足将摄像头内置到屏幕内部的需要,进而影响全面屏的实现的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种蒸镀用掩模板组,包括至少两个配套的掩模板,所述掩模板包括掩模板本体和开口区;所述开口区内设置有遮挡部、至少一连接件、以及蒸镀区;其中,所述连接件连接所述掩模板本体与所述遮挡部;所述掩模板组中的一个掩模板的连接件的尺寸与其他掩模板的蒸镀区的尺寸相同且重叠,至少两个所述掩模板的蒸镀区相互配合。
在本发明的至少一种实施例中,所述掩模板组包括第一掩模板和第二掩模板。
在本发明的至少一种实施例中,所述第一掩模板的开口区内设置有第一连接件、第二连接件、第三连接件、以及第四连接件。
在本发明的至少一种实施例中,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件的一端均连接所述掩模板本体,相对的另一端均连接所述遮挡部。
在本发明的至少一种实施例中,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件均为条形结构,所述第一连接件与所述第二连接件之间的连线、所述第三连接件与所述第四连接件之间的连线均为直线。
在本发明的至少一种实施例中,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件以及所述遮挡部一起形成十字架结构,所述遮挡部位于所述十字架结构的结点处。
在本发明的至少一种实施例中,所述第二掩模板的蒸镀区被分隔为四个第一子蒸镀区域,所述四个第一子蒸镀区域分别与所述第一掩模板的第一连接件、第二连接件、第三连接件、以及第四连接件的尺寸相同且重叠。
在本发明的至少一种实施例中,所述掩模板组还包括第三掩模板。
在本发明的至少一种实施例中,所述第二掩模板的蒸镀区被划分为两个第二子蒸镀区域,所述两个第二子蒸镀区域分别与所述第一掩模板的第一连接件、第二连接件的尺寸相同且重叠。
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