[发明专利]蒸镀用掩模板组有效
| 申请号: | 201811430739.0 | 申请日: | 2018-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN109306450B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
| 发明(设计)人: | 林治明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 蒸镀用掩 模板 | ||
1.一种蒸镀用掩模板组,包括至少两个配套的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括:
掩模板本体;
开口区,所述开口区内设置有遮挡部、至少一连接件、以及蒸镀区;其中,所述连接件连接所述掩模板本体与所述遮挡部;
所述掩模板组中的一个掩模板的连接件的尺寸与其他掩模板的蒸镀区的尺寸相同且重叠,至少两个所述掩模板的蒸镀区相互配合;
所述蒸镀用掩模板组包括相互配套的第一掩模板、第二掩模板、第三掩模板,所述第一掩模板的开口区内设置有第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、以及蒸镀区;
所述第二掩模板的蒸镀区被分隔为两个第二子蒸镀区域,所述两个第二子蒸镀区域分别与所述第一掩模板的所述第一连接件、所述第二连接件的尺寸相同且重叠;
所述第三掩模板的蒸镀区被分隔为两个第三子蒸镀区域,所述两个第三子蒸镀区域分别与所述第一掩模板的所述第三连接件、所述第四连接件的尺寸相同且重叠。
2.根据权利要求1所述的掩模板组,其特征在于,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件的一端均连接所述掩模板本体,相对的另一端均连接所述遮挡部。
3.根据权利要求2所述的掩模板组,其特征在于,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件均为条形结构,所述第一连接件与所述第二连接件之间的连线、所述第三连接件与所述第四连接件之间的连线均为直线。
4.根据权利要求3所述的掩模板组,其特征在于,所述第一连接件、所述第二连接件、所述第三连接件、所述第四连接件以及所述遮挡部一起形成十字架结构,所述遮挡部位于所述十字架结构的结点处。
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