[发明专利]一种高功率激光光源连续稳定性测试系统及方法在审
申请号: | 201811420106.1 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN111220358A | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 彭强;王瑾;朱宝华;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人: | 汪琳琳 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 激光 光源 连续 稳定性 测试 系统 方法 | ||
1.一种高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
包括激光发生装置、聚焦镜、光衰减装置及探测装置;
所述激光发生装置用于产生激光光源;
所述聚焦镜设于所述激光发生装置的输出光路上,对所述激光发生装置产生的激光束进行聚焦;
所述光衰减装置接收聚焦后的激光束,并对所述激光束进行至少两路的衰减,以使所述探测装置接收衰减后的激光束。
2.根据权利要求1所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述光衰减装置包括两组衰减镜片,激光束经预设的入射角投射至第一组衰减镜片上,第一组衰减镜片将当前激光束以相同的入射角反射至第二组衰减镜片上,第二组衰减镜片将当前激光束以与投射至第一组衰减镜片的激光束平行的方向反射至探测装置。
3.根据权利要求2所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
两组所述衰减镜片的入射光角度均为9-11度。
4.根据权利要求2所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述衰减镜片由红外光学石英材料制成,所述聚焦镜为准直石英材料聚焦镜。
5.根据权利要求2所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述高功率激光光源连续稳定性测试系统还包括散热装置,所述散热装置为水冷装置、半导体制冷装置、风冷装置的一种,所述散热装置设置为两组且分别设置在两组衰减镜片背光一侧。
6.根据权利要求1所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述高功率激光光源连续稳定性测试系统还包括光学底座,所述激光发生装置、聚焦镜、光衰减装置及探测装置安装在光学底座上。
7.根据权利要求1所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述高功率激光光源连续稳定性测试系统还包括罩设于激光发生装置、聚焦镜、光衰减装置及探测装置上的防紫外密封罩。
8.根据权利要求1所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
所述高功率激光光源连续稳定性测试系统还包括检测装置和控制器;所述检测装置与散热装置和探测装置连接,以获取所述散热装置和探测装置的工作参数,所述检测装置、激光发生装置均与控制器连接。
9.一种高功率激光光源连续稳定性测试方法,基于权利要求2-8任意一条所述的高功率激光光源连续稳定性测试系统,其特征在于,
包括如下步骤:
调试激光发生装置,保证发出的激光束与水平方向平行;
调试光衰减装置,对激光束进行至少两路的衰减,并保证经衰减后的激光束与激光束从聚焦镜发出方向平行的方向投射至探测装置。
10.根据权利要求9所述的高功率激光光源连续稳定性测试方法,其特征在于,
所述调试光衰减装置,对激光束进行至少两路的衰减,并保证经衰减后的激光束与激光束发出方向平行的方向投射至探测装置的步骤中,具体包括:
在激光调试模式下,调试第一组衰减镜片,使激光束经预设的入射角投射至第一衰减镜片的中心;
调试第二组衰减镜片,使经第一组衰减镜片反射的激光束以相同的入射角反射至第二组衰减镜片的中心;
经第二组衰减镜片反射的激光束以与投射至第一组衰减镜片的激光束平行的方向反射至探测装置的中心。
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