[发明专利]一种缺陷确定方法、装置及存储介质

说明书

本发明实施例提供了一种缺陷确定方法、装置及存储介质，缺陷确定方法包括：获取待检测样品经过第一工艺后目标区域所对应的第一灰阶值和比较区域所对应的第二灰阶值；获取待检测样品经过第二工艺后目标区域所对应的第三灰阶值和比较区域所对应的第四灰阶值，第二工艺为第一工艺的下一道工艺；根据第一灰阶值、第二灰阶值、第三灰阶值和第四灰阶值，确定目标区域是否为缺陷区域。通过本发明实施例的缺陷确定方法可以去除前层工艺图形对现工艺的待检测样品的灰阶值的影响，使灰阶差值波动范围降低，能够实现在更严格的阈值条件下，将缺陷区域的误判率被控制在可接受范围，从而提高AOI设备准确度和检出率，并能够更加精确地计算缺陷区域大小。

技术领域

本发明涉及光学检测领域，特别涉及一种缺陷确定方法、装置及存储介质。

背景技术

目前，AOI(Automatic Optic Inspection，自动光学检测)设备是电子制造业确保产品质量的重要检测工具和过程质量控制工具，AOI设备的工作流程为：待检测样品进入设备→对待检测样品进行扫描，获取图1所示的灰阶图，同时通过灰阶图得到与图1中的各个区域对应的灰阶值(如图2所示)，对图2所示的灰阶值筛选比较计算出如图3或图4所示的缺陷的信息→对缺陷进行拍照→图像与数据上传→待检测样品排除设备。继续参见图3，图中有33个区域被标定为缺陷区域，但是这些缺陷区域中并非所有区域都存在真实缺陷，造成AOI设备的检出准确度降低。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种缺陷确定方法、装置及存储介质，以解决现有AOI设备的检出准确度低的问题。

依据本发明实施例的一个方面，提供了一种缺陷确定方法，包括：

获取待检测样品经过第一工艺后目标区域所对应的第一灰阶值和比较区域所对应的第二灰阶值；

获取待检测样品经过第二工艺后所述目标区域所对应的第三灰阶值和所述比较区域所对应的第四灰阶值，所述第二工艺为所述第一工艺的下一道工艺；

根据所述第一灰阶值、所述第二灰阶值、所述第三灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述目标区域是否为缺陷区域。

可选地，所述根据所述第一灰阶值、第二灰阶值、第三灰阶值和第四灰阶值，确定所述目标区域是否为缺陷区域，包括：

根据所述第一灰阶值和所述第三灰阶值，确定所述目标区域对应的目标灰阶值；

根据所述第二灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述比较区域对应的比较灰阶值；

判断所述比较灰阶值和所述目标灰阶值之间差值的绝对值是否大于预设的阈值；

若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值大于预设的阈值，则确定所述目标区域是缺陷区域；

若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值小于或等于预设的阈值，则确定所述目标区域不是缺陷区域。

可选地，所述根据第一灰阶值和所述第三灰阶值，确定所述目标区域对应的目标灰阶值，包括：

将所述第三灰阶值减去所述第一灰阶值所得到的差值，确定为所述目标区域对应的目标灰阶值。

可选地，所述根据所述第二灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述比较区域对应的比较灰阶值，包括：

将所述第四灰阶值减去所述第二灰阶值所得到的差值，确定为所述比较区域对应的比较灰阶值。

依据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种缺陷确定装置，包括：

第一获取模块，用于获取待检测样品经过第一工艺后目标区域所对应的第一灰阶值和比较区域所对应的第二灰阶值；