[发明专利]一种缺陷确定方法、装置及存储介质

权利要求书

1.一种缺陷确定方法，其特征在于，包括：

获取待检测样品经过第一工艺后目标区域所对应的第一灰阶值和比较区域所对应的第二灰阶值；

获取待检测样品经过第二工艺后所述目标区域所对应的第三灰阶值和所述比较区域所对应的第四灰阶值，所述第二工艺为所述第一工艺的下一道工艺；

根据所述第一灰阶值、所述第二灰阶值、所述第三灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述目标区域是否为缺陷区域；

所述根据所述第一灰阶值、第二灰阶值、第三灰阶值和第四灰阶值，确定所述目标区域是否为缺陷区域，包括：

根据所述第一灰阶值和所述第三灰阶值，确定所述目标区域对应的目标灰阶值；

根据所述第二灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述比较区域对应的比较灰阶值；

判断所述比较灰阶值和所述目标灰阶值之间差值的绝对值是否大于预设的阈值；

若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值大于预设的阈值，则确定所述目标区域是缺陷区域；

若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值小于或等于预设的阈值，则确定所述目标区域不是缺陷区域。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据第一灰阶值和所述第三灰阶值，确定所述目标区域对应的目标灰阶值，包括：

将所述第三灰阶值减去所述第一灰阶值所得到的差值，确定为所述目标区域对应的目标灰阶值。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述比较区域对应的比较灰阶值，包括：

将所述第四灰阶值减去所述第二灰阶值所得到的差值，确定为所述比较区域对应的比较灰阶值。

4.一种缺陷确定装置，其特征在于，包括：

第一获取模块，用于获取待检测样品经过第一工艺后目标区域所对应的第一灰阶值和比较区域所对应的第二灰阶值；

第二获取模块，用于获取待检测样品经过第二工艺后所述目标区域所对应的第三灰阶值和所述比较区域所对应的第四灰阶值，所述第二工艺为所述第一工艺的下一道工艺；

确定模块，用于根据所述第一灰阶值、所述第二灰阶值、所述第三灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述目标区域是否为缺陷区域；

所述确定模块包括：

第一确定单元，用于根据所述第一灰阶值和所述第三灰阶值，确定所述目标区域对应的目标灰阶值；

第二确定单元，用于根据所述第二灰阶值和所述第四灰阶值，确定所述比较区域对应的比较灰阶值；

判断单元，用于判断所述比较灰阶值和所述目标灰阶值之间差值的绝对值是否大于预设的阈值；

第三确定单元，用于若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值大于预设的阈值，则确定所述目标区域是缺陷区域；

第四确定单元，用于若所述比较灰阶值和所述目标灰阶值差值的绝对值小于或等于预设的阈值，则确定所述目标区域不是缺陷区域。

5.根据权利要求4所述的缺陷确定装置，其特征在于，所述第一确定单元包括：

第一确定子单元，用于将所述第三灰阶值减去所述第一灰阶值所得到的差值，确定为所述目标区域对应的目标灰阶值。

6.根据权利要求4或5所述的缺陷确定装置，其特征在于，所述第二确定单元包括：

第二确定子单元，用于将所述第四灰阶值减去所述第二灰阶值所得到的差值，确定为所述比较区域对应的比较灰阶值。

7.一种缺陷确定装置，其特征在于，包括：处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序，所述程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至3中任一项所述的缺陷确定方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储程序，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至3中任一项所述的缺陷确定方法的步骤。