[发明专利]传感器单元、传感器单元的制造方法、惯性测量装置、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201811406098.5 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN109839129B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 大槻哲也;数野雅隆 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00;G01C19/56;G01P1/00;H01L23/48 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;刘畅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 单元 制造 方法 惯性 测量 装置 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种传感器单元,其特征在于,该传感器单元具有:
多个端子部件,它们具有引线部以及外部端子部,所述外部端子部具有外部连接端面;
传感器装置,所述传感器装置经由接合部件与所述多个端子部件的所述引线部连接;以及
树脂部件,其覆盖所述多个端子部件的一部分和所述传感器装置,
所述引线部具有:薄壁部,其厚度比所述外部端子部小;以及突起部,其从所述薄壁部向所述外部连接端面侧突出,所述薄壁部位于所述外部端子部与所述突起部之间,
在从所述端子部件与所述传感器装置重叠的方向俯视观察时,所述传感器装置配置于与所述突起部重叠且不与所述外部端子部重叠的位置,并且所述接合部件与所述突起部重叠。
2.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
所述突起部具有第2外部连接端面,该第2外部连接端面与所述外部连接端面配置于同一平面。
3.根据权利要求2所述的传感器单元,其中,
在设所述外部连接端面的面积为S1、所述第2外部连接端面的面积为S2时,所述突起部满足:0.3S2/S12。
4.根据权利要求2所述的传感器单元,其中,
在设所述外部连接端面的面积为S1、所述第2外部连接端面的面积为S2时,所述突起部满足:0.1S2/S11。
5.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
在设所述外部端子部的厚度为H1、所述引线部的包含所述突起部的部分的厚度为H2时,所述突起部满足:0.8H2/H11。
6.根据权利要求5所述的传感器单元,其中,
所述突起部被具有电绝缘性的绝缘部件覆盖。
7.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
所述突起部设置有多个。
8.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
在所述俯视观察时,所述树脂部件的轮廓呈矩形。
9.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
该传感器单元还具有第2端子部件,该第2端子部件不与所述传感器装置连接,
所述第2端子部件具有延伸设置部,在所述俯视观察时,该延伸设置部沿着所述传感器装置的轮廓配置。
10.根据权利要求1所述的传感器单元,其中,
该传感器单元还具有第2端子部件,该第2端子部件不与所述传感器装置连接,
在所述俯视观察时,所述树脂部件的轮廓呈矩形,
所述第2端子部件具有:一对所述外部端子部,它们沿着所述矩形的轮廓内的不同的两个边配置;以及第2引线部,其将一对所述外部端子部之间连结起来,
所述第2引线部具有:薄壁部,其厚度比所述外部端子部小;以及第2突起部,其从所述薄壁部向外部连接端面侧突出。
11.根据权利要求10所述的传感器单元,其中,
所述传感器装置为多个,在所述俯视观察时,配置于彼此相离的位置,
在所述俯视观察时,所述第2引线部配置于一个所述传感器装置与其他所述传感器装置之间。
12.根据权利要求10所述的传感器单元,其中,
第2端子部件配置有至少三个,
在所述俯视观察时,在所述传感器单元的中央部具有连结部,该连结部将多个所述第2端子部件的各个所述第2引线部连结起来。
13.根据权利要求12所述的传感器单元,其中,
所述连结部具有载置部,该载置部载置所述传感器装置。
14.根据权利要求10所述的传感器单元,其中,
所述第2突起部设置有多个。
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