[发明专利]一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺

权利要求书

1.一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将石英管和石英舟放置在清洁混合液中浸泡，然后用王水蒸煮，用不锈钢镊子夹持滤纸吸干石英管和石英舟上的水渍以后放进烘干机内烘干，烘干后取出，进行高温处理，再用蒸馏水煮后烘干即可；

(2)将锗锭放置在氢气容器内，利用电阻炉熔融锗锭，使其形状规则，大小均匀；

(3)将熔好的锗锭先腐蚀，然后放入石英舟中，再将石英舟放入石英管内；

(4)利用前级抽气机对石英管内抽真空，使管内形成真空环境，再利用油扩散泵进一步对石英管内抽气，使真空效果更加，用检漏计检查管内的真空度；

(5)在石英管外设置高频炉，开高频炉对管内锗锭进行区熔；

(6)待锗锭首端熔化后，稳定的拖动石英管使锗锭的不同位置均可以得到区域熔化；

(7)这样往复拖动，重复区域熔化数十遍后，锗锭区熔完成；

(8)测量提纯后的样品参数，并清洗石英管和石英舟。

2.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：在步骤(2)中，再将锗锭放入容器前，先让氢气气流以较大的流量冲刷系统20分钟-1小时，然后以每秒钟一个气泡的稳定速度流过系统。

3.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述步骤(2)中，熔化温度保持在1000℃-1100℃，熔化时间为20-25分钟。

4.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述步骤(1)中的清洁混合液由HNO₃、HF和H₂O组成，所述HNO₃：HF：H₂O的质量份数比为4：3：3，所述烘干后的高温处理温度为1400℃-1500℃。

5.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述石英管其尾部高于头部倾斜放置。

6.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述步骤(3)中溶化后的锗锭利用CP₄腐蚀。

7.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述锗锭首端初熔不易感应，采用汽油吹灯预热。

8.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：所述步骤(4)中，前级抽气机抽气将真空度达到10^-2mmHg以上，油扩散泵使真空度达到10^-4mmHg。

9.根据权利要求1所述的一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺，其特征在于：在抽真空后，保持真空度20分钟-25分钟，开始对锭首加热。