[发明专利]柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法

权利要求书

1.一种柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，包括：

在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；

确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内；

其中，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层包括：

在所述测试区域溅射一层厚度不超过10nm的金属层。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层之前，所述方法还包括：

去除所述柔性显示面板上的临时保护膜；

根据所述柔性显示面板的缺陷确定所述测试区域，所述缺陷位于所述测试区域内；

将所述测试区域与所述柔性显示面板分离。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，溅射时的溅射电流为15mA，溅射时长为20s，靶材高度为25mm。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，所述金属层采用金或铂。

5.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，所述激光的波长为532nm-1064nm。

6.一种柔性显示面板测试样品，其特征在于，包括：

位于柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上的金属层，所述金属层的厚度小于阈值，所述柔性显示面板的缺陷位于所述测试区域内；

位于所述金属层上的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内；

所述金属层的厚度不超过10nm。

7.根据权利要求6所述的柔性显示面板测试样品，其特征在于，所述金属层采用金或铂。

8.一种柔性显示面板的分析方法，其特征在于，用于对权利要求6或7所述的柔性显示面板测试样品进行分析，所述分析方法包括：

利用所述缺陷位置标记确定所述柔性显示面板的缺陷的位置；

利用聚焦离子束对所述缺陷进行分析。