[发明专利]一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备在审

专利信息
申请号: 201811394082.7 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109290887A 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 王歆;吴秀丽;陈琳 申请(专利权)人: 湖南大合新材料有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/04;B24B55/06
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 曾志鹏
地址: 421000 湖南省衡阳市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 锑化镓单晶 直线导轨 上端 升降座 切削 滑块 打磨 打磨设备 真空吸盘 可调的 支撑座 侧边 侧面 柜体 底座 电机 输出轴连接 打磨机构 快速调节 上下升降 升降机构 手工打磨 推进机构 吸尘装置 效率低等 快速夹 自动化
【权利要求书】:

1.一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(7),其左上端设置有柜体(6),柜体(6)的上端设置有第一直线导轨(8),第一直线导轨(8)上安装有滑块(9),滑块(9)与推进机构连接实现左右移动,滑块(9)的上端设置有支撑架(13),支撑架(13)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(16)、与第一电机(16)输出轴相连的转轴(15)、设置在转轴(15)末端的打磨盘(14);底座(7)的右上端设置有支撑座(27),支撑座(27)上设置有第二直线导轨(24),第二直线导轨(24)上安装有升降座(26),升降座(26)与升降机构连接实现上下升降,升降座(26)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(4),锑化镓单晶片(5)安装在真空吸盘(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,推进机构包括固定设置在滑块(9)左侧的齿条(10)和设置在柜体(6)上端的第四电机(12),第四电机(12)的输出轴连接齿轮(11),齿条(10)与齿轮(11)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,升降机构包括滚珠丝杆(1)和第三电机(2),滚珠丝杆(1)与第三电机(2)的输出轴连接,滚珠丝杆(1)的螺母与升降座(26)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,侧面打磨机构和吸尘装置的顶部设置有保护罩(28)。

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