[发明专利]3D蒸镀的公自转镀锅结构

权利要求书

1.一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其包括：公转底盘，其为圆形环绕轨道；公转顶盘，其具有多个支撑件，每一个该支撑件底部借由公转转轮，环绕运行于该公转底盘；多个镀锅自转模块，每一个该镀锅自转模块包括:悬臂，其以一倾斜角结合于该公转顶盘，又其特征为：每一个该镀锅自转模块又包括:

齿轮盘，其结合于该悬臂底侧，该齿轮盘形成有内环状齿牙；及

自转镀盘，其借由转轴结合于该悬臂，又该自转镀盘的端部，是环绕线性运转于该公转底盘；以及

多个晶圆载盘，每一个该晶圆载盘借由转轴固设于该自转镀盘上，又借由每一个该晶圆载盘的外环状齿牙与该内环状齿牙，产生线性平稳转动结合；

其中蒸镀角度大于或等于70度，又该蒸镀角度是晶圆载盘表面与蒸镀角射线所形成的夹角，又该蒸镀角射线是蒸镀源与该晶圆载盘的载盘边缘所形成的直线；

其中最大的该蒸镀角度与最小的该蒸镀角度的角度差大于或等于10度。

2.如权利要求1所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该悬臂是借由角度调整器与该公转顶盘结合。

3.如权利要求2所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该角度调整器包括第一角度调整单元及第二角度调整单元，又将该自转镀盘与该公转顶盘所形成的18度夹角定义为基准角度。

4.如权利要求3所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该第一角度调整单元的调整角度为该基准角度的+3、+1、-1或-3度。

5.如权利要求3所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该第二角度调整单元的调整角度为该基准角度的+2、0、或-2度。

6.如权利要求1所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该公转底盘与该公转顶盘相互平行且呈水平状态设置。

7.如权利要求1所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该多个支撑件为三个支撑件，且彼此以等间距方式排列。

8.如权利要求1所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该多个镀锅自转模块为三个镀锅自转模块，且彼此以等间距方式排列。