[发明专利]一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台在审

专利信息
申请号: 201811393246.4 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109300822A 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 陈滢如;简健哲 申请(专利权)人: 安徽宏实自动化装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 230001 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 外箱体 外桶 内桶体 微蚀刻 隔板 机台 蚀刻 去毛边 分隔 滚桶 毛边 去除 治具 连通 电机 排水管 电机驱动 固定治具 均匀开设 溶液流动 旋转带动 出水阀 进水阀 体内部 圆轴杆 搅动 侧壁 热管 外壁 网孔
【权利要求书】:

1.一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,包括外箱体(7),其特征在于,所述外箱体(7)的内部通过隔板(8)分隔有外桶仓(9),所述外桶仓(9)的底部均匀分布有加热管(15),所述外箱体(7)的顶部固定有与外桶仓(9)连通的进水阀(10),所述外箱体(7)的底部通过排水管(17)与固定在外箱体(7)侧壁的出水阀(16)连通,所述外箱体(7)的内底固定有电机(1),所述电机(1)通过电机轴传动连接有主动带轮(2),所述外箱体(7)的背部通过轴承活动连接有贯穿并延伸至外桶仓(9)内部的圆轴杆(5),所述圆轴杆(5)介于外箱体(7)与隔板(8)之间卡接固定有从动带轮(4),所述主动带轮(2)通过皮带(3)与从动带轮(4)传动连接,所述圆轴杆(5)位于外桶仓(9)内的端部焊接有内桶体(11),所述内桶体(11)的侧壁均匀开设有网孔(13);

所述内桶体(11)的内底中心位置处通过轴承座(6)活动连接有转动架(12),所述转动架(12)包括与轴承座(6)活动连接的L型轴杆(27),所述L型轴杆(27)的底部焊接有支撑框(28);

所述支撑框(28)的内部卡接有承载筐(14),所述承载筐(14)包括框架(25),所述框架(25)的底部左右两侧均焊接有侧板(26),两个所述侧板(26)之间焊接有与框架(25)前后侧内底连接的筛网(18),其中,一个侧板(26)底边与筛网(18)之间开设有出料口(19),所述框架(25)的上部焊接有横杆(24),所述横杆(24)上端面中心位置处焊接有把手(23),所述把手(23)的底部焊接有一对限位杆(22),所述一对限位杆(22)的外部滑动套接有L型拉杆(21),所述L型拉杆(21)的底部焊接有用于封挡出料口(19)的挡板(20)。

2.根据权利要求1所述的一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,其特征在于,所述内桶体(11)的截面为水平放置的“凸”字形结构,其中,内桶体(11)的入料口内径大于承载筐(14)的竖直截面。

3.根据权利要求1所述的一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,其特征在于,所述内桶体(11)的轴线与圆轴杆(5)的轴线重合。

4.根据权利要求1所述的一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,其特征在于,所述出水阀(16)的高度低于外桶仓(9)底部10-20cm。

5.根据权利要求1所述的一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,其特征在于,所述L型拉杆(21)的活动高度为2-3cm。

6.根据权利要求1所述的一种不需放置治具去除QFN细微毛边的蚀刻滚桶槽机台,其特征在于,该蚀刻滚桶槽机台的具体使用操作步骤为:

步骤一:将需要使用的微蚀刻化学溶液按照一定的浓度调配好并放入指定的容器中,然后将该容器与进水阀(10)进行连接,然后打开进水阀(10)将微蚀刻化学溶液导入到外桶仓(9)的指定深度位置处;

步骤二:启动电机(1)驱动主动带轮(2)旋转,然后主动带轮(2)通过皮带(3)带动从动带轮(4)旋转,通过从动带轮(4)带动内桶体(11)旋转,从而对外桶仓(9)的液体进行搅拌,同时控制加热管(15)对内桶体(11)内的液体进行加热;

步骤三:待微蚀刻化学溶液加热到指定温度并搅拌均匀后,将I C放置在承载筐(14)内,然后通过握持把手(23)将承载筐(14)放置在转动架(12)的支撑框(28),使得流动的微蚀刻化学溶液对I C进行微蚀刻;

步骤四:待微蚀刻结束后,握持把手(23)将承载筐(14)从内桶体(11)内取出,然后通过清水对I C进行冲刷,冲刷结束后,将承载筐(14)向下倾斜,并将出料口(19)对准指定收纳容器,握持把手(23)的手握紧,使得L型拉杆(21)带动挡板(20)上移,从而将I C通过出料口(19)导入到收纳容器中。

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