[发明专利]一种真空等离子镀膜平台

说明书

本发明涉及真空等离子镀膜技术领域，尤其涉及一种真空等离子镀膜平台，解决现有技术中存在的需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率的缺点，包括支撑柱及镀膜箱，所述支撑柱的顶端设有作业平台，且作业平台上设置有作业架，所述作业架的顶端焊接有承载板，且承载板上设置有蓄水池，所述蓄水池的底部设置有清洁喷淋头，所述承载板的一端焊接有安装板，本发明通过蓄水池及清洁喷淋头可直接在滤板上对基体进行清洁，同时可通过一侧的伺服电机进行烘干作业，镀膜的前处理方便简单，且清洁水可通过水泵进行重复利用，节省了能源。

技术领域

本发明涉及真空等离子镀膜技术领域，尤其涉及一种真空等离子镀膜平台。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。

在镀膜时，将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。而如今的真空等离子镀膜，需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率的缺点，而提出的一种真空等离子镀膜平台。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种真空等离子镀膜平台，包括支撑柱及镀膜箱，所述支撑柱的顶端设有作业平台，且作业平台上设置有作业架，所述作业架的顶端焊接有承载板，且承载板上设置有蓄水池，所述蓄水池的底部设置有清洁喷淋头，所述承载板的一端焊接有安装板，且安装板上通过螺栓固定设置有伺服电机，伺服电机的输出端键连接有驱动轴，驱动轴的末端安装有扇叶，所述安装板的一侧焊接有防护板，所述作业架上设置有滤板，所述作业平台上设置有回收池，且回收池位于所述滤板的底部，作业平台的一侧设置有镀膜箱，所述作业平台上设有水泵，且水泵的一侧连通有进水管，水泵的另一侧连通有出水管，所述进水管的一端位于所述回收池的内部，所述出水管的一端位于所述蓄水池的内部。

优选的，所述清洁喷淋头的一端位于所述蓄水池的内部，且清洁喷淋头的另一端位于所述承载板的底部，清洁喷淋头的底部开设有3个喷淋口。

优选的，所述滤板位于所述清洁喷淋头的底部，且滤板上开设有滤孔。

优选的，所述进水管上设置有第一限位块，且第一限位块位于所述回收池的内部，所述出水管上设置有第二限位块，且第二限位块位于所述蓄水池的内部。

优选的，所述防护板为倾斜设置，且防护板的倾斜角度为30-45°。

优选的，所述作业架上开设有辅助槽孔，且所述进水管的一端穿过所述辅助槽孔延伸至所述回收池的内部。

本发明的有益效果是：

1、本发明在作业平台上设有作业架，作业架上设置有承载板，并在承载板上设有蓄水池，在工作时，可将基体放置在滤板上，而后通过蓄水池，进一步经过清洁喷淋头进行喷淋清洗，清洁水在滤板上清洁过后，会直接落入到回收池内，留待回收再次使用。

2、本发明在承载板的一侧设有安装板，其上设有伺服电机，伺服电机输出端设有扇叶，在清洁基体完毕后，可通过伺服电机带动扇叶进行干燥作业，且安装板的一侧设有防护板，避免伺服电机及扇叶被清洁喷淋头影响。

综上所述，通过蓄水池及清洁喷淋头可直接在滤板上对基体进行清洁，同时可通过一侧的伺服电机进行烘干作业，镀膜的前处理方便简单，且清洁水可通过水泵进行重复利用，节省了能源。

附图说明