[发明专利]一种石墨散热膜生产用真空碳化炉

权利要求书

1.一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，包括碳化炉支架(3)，其特征在于：所述碳化炉支架(3)的上端面安装有碳化炉外层(1)，所述碳化炉外层(1)外表面的一侧安装有温度传感器(2)，所述碳化炉外层(1)的上端面安装有冷却气体进口甲(14)，所述冷却气体进口甲(14)的一侧安装有冷却气体进口乙(23)，所述冷却气体进口乙(23)和冷却气体进口甲(14)的一端安装有分流器(45)，所述分流器(45)的下方安装有冷却雾化装置(10)，所述冷却雾化装置(10)的一侧安装有自吸泵(9)，所述冷却雾化装置(10)的另一侧安装有冷却池(12)，所述冷却池(12)一侧的端面安装有电子阀(13)，所述冷却池(12)的后端面安装有氮气生产装置(8)，所述冷却雾化装置(10)一侧的端面安装有氮气进口(42)，所述氮气进口(42)的下方安装有冷却水进口(43)，所述冷却水进口(43)的下方安装有超声波雾化模块(44)，所述超声波雾化模块(44)的上端面安装有铁块(48)，所述铁块(48)的上方安装有风扇(50)，所述碳化炉外层(1)另一侧的端面安装有密封盖连接件乙(31)，所述密封盖连接件乙(31)的前端面安装有密封盖连接件甲(17)，所述密封盖连接件甲(17)一侧的端面安装有碳化炉前盖(20)，所述碳化炉前盖(20)一侧的端面安装有金属密封环(19)，所述金属密封环(19)的内壁安装有密封金属板(18),所述碳化炉外层(1)的后端面安装有碳化炉密封后盖(30)，所述碳化炉密封后盖(30)的一侧安装有固定法兰(27)，所述固定法兰(27)的一端安装有U型管甲(5)，所述U型管甲(5)的一端安装有U型管乙(6)，所述U型管乙(6)的一端安装有迷宫水箱(49)，所述迷宫水箱(49)的一侧安装有真空压缩机(7)，所述U型管甲(5)的一侧安装有电控箱(4)，所述碳化炉外层(1)的内壁安装有螺旋电阻(21)，所述螺旋电阻(21)的外表面安装有石墨内胆(16)，所述石墨内胆(16)上端面安装有甲挡板(15)，所述甲挡板(15)的一侧安装有乙挡板(24)，所述石墨内胆(16)的下端面安装有出水口(22)，所述石墨内胆(16)的前端面安装有封板(32)，所述石墨内胆(16)的内壁安装有钨胆甲(25)，所述钨胆甲(25)的内壁安装有耐热合金钢(26)，所述耐热合金钢(26)的前端面安装有固定密封环(33)，所述耐热合金钢(26)的内壁安装有钨胆乙(29)，所述钨胆乙(29)的内壁安装有气口(28)。

2.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述真空压缩机(7)的一侧上端面安装有进气口(38)，所述进气口(38)的一侧安装有出气口(41)，所述真空压缩机(7)的内壁安装有机体(34)，所述机体(34)的内壁安装有电机(39)，所述电机(39)的前端面安装有排气口(40)，所述排气口(40)的斜上方安装有吸气口(36)，所述吸气口(36)和排气口(40)的前端面安装有叶轮(35)，所述叶轮(35)的外表面安装有水环(37)。

3.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述密封盖连接件甲(17)与密封盖连接件乙(31)通过铰链结构连接。

4.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述碳化炉前盖(20)与密封盖连接件甲(17)通过气保焊连接。

5.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述碳化炉外层(1)的内壁设置有螺旋钢片，且碳化炉外层(1)与螺旋钢片通过氩弧焊连接。

6.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述冷却气体进口甲(14)和冷却气体进口乙(23)与碳化炉外层(1)的上端面通过氩弧焊连接。

7.根据权利要求1所述的一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，其特征在于：所述螺旋电阻(21)、温度传感器(2)与电控箱(4)电信连接。