[发明专利]包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置

权利要求书

1.一种包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室，其包括作为形成处理物质的区域的形成区域、作为用所述处理物质处理基板的区域的处理区域以及作为与泵连接而排出所述处理物质的区域的排出区域；

夹盘，其在上部安放所述基板以使所述基板位于所述处理区域；

引导部，其将在所述形成区域形成的所述处理物质引导至所述处理区域；

排出部，其设置于所述处理区域与所述排出区域的界线而形成有排出所述处理物质的多个排气孔；

上升下降部，其贯通所述腔室而设置，在所述基板被搬入及搬出所述腔室时在所述腔室的内部使所述引导部上升，并在处理所述基板时在所述腔室的内部使所述引导部下降；

驱动部，其设置于所述腔室外部而向所述上升下降部提供驱动力；以及

排气调节部，其与所述上升下降部联动而上升下降，以调节所述排出部的所述排气孔的开闭量，

所述上升下降部在上升下降的一部分区间使所述引导部和所述排气调节部一同升降，且在上升下降的另外的一部分区间使所述排气调节部升降来调节所述排出部的排出量。

2.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，

所述引导部包括引导孔，该引导孔以直径向所述处理区域方向逐渐减小的方式贯通中央。

3.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，包括：

第一导向部，其以上下较长地延伸的形状位于所述腔室的内部；以及

第二导向部，其形成于所述引导部，且形成为与所述第一导向部对应的形状，以防止所述引导部升降时从所述第一导向部脱离。

4.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，

所述排出部包括：

第一阀盘，其固定设置于所述腔室的内部，且形成有所述排气孔；

第二阀盘，其开闭所述排气孔；以及

弹性部，其设置于所述第一、第二阀盘之间而使所述第一、第二阀盘弹性地贴紧，

所述排气调节部使所述第一、第二阀盘的间距隔开来调节排出量。

5.根据权利要求4所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，

所述第二阀盘在与所述排气孔相应的位置具备密封部而在与所述第一阀盘贴紧的状态下密闭所述排气孔。

6.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，还包括：

引导下降界线凸台，其从所述腔室内壁凸出，且形成于所述引导部下降的界线；以及

长度可变部，其形成于所述上升下降部的中间，

所述引导部固定于所述上升下降部的上端，在通过所述上升下降部的下降支撑于所述引导下降界线凸台的状态改下，通过所述长度可变部的伸缩来调节所述排出部的排出量。

7.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，

还包括引导下降界线凸台，其从所述腔室内壁凸出，且形成于所述引导部下降的界线，

所述引导部支撑于所述上升下降部的上端或支撑于在所述上升下降部的中间形成的引导卡止部，在通过所述上升下降部的下降支撑于所述引导下降界线凸台的状态下，通过所述排气调节部的上升下降来调节所述排出部的排出量。

8.根据权利要求1所述的包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置，其特征在于，

还包括限制部，其设置于所述引导部与所述排气调节部之间，在内侧插入位于所述夹盘的基板，且限制所述处理物质处理所述基板的外侧。